電子薄膜與集成器件國家重點實驗室檢視原始碼討論檢視歷史

重點實驗室科研人員做實驗原圖鏈接來自 電子科技大學新聞中心 的圖片

電子薄膜與集成器件國家重點實驗室以電子科技大學為依託，於2006年7月經科技部批准建設，2008年10月通過科技部驗收並正式開放運行。實驗室緊密結合電子信息系統微小型化和單片集成的重大需求，重點圍繞電子功能材料的薄膜化和電子器件的集成化開展基礎、應用基礎與工程應用的研究。2012年及2017年在科技部組織的國家重點實驗室評估中被評為優秀類實驗室。

科研領域

實驗室緊密圍繞國家IT領域的戰略目標，立足於電子信息材料與器件的發展前沿，堅持需求與發展並舉、理論與實踐並重，致力於新型電子薄膜材料與集成電子器件的研究和開發，促進材料——器件——微電子技術的交叉和集成，形成了三個重點研究方向：

（1）磁電薄膜與微型器件

主要解決集成器件中電、磁信息的探測和傳輸

（2）功率半導體器件及集成技術

主要解決集成系統中能量的輸入輸出

（3）電子聚合物與微結構傳感器

主要解決微型結構中電、光信息的獲取和傳感

學術團隊

實驗室現有研究人員80人，管理人員4人，輔助人員2人；客座研究人員16人。在固定研究人員中已形成以陳星弼院士為帶頭人的一支以40歲左右為核心、30歲左右為主力的骨幹研究隊伍。隊伍中包括了中科院院士1人，中國工程院院士1人，國家傑出青年基金獲得者3人，國家自然基金委創新團隊1個，國家級獎評委5人，教育部跨（新）世紀人才10人，部級專家組成員3人，四川省傑出創新人才獎3人，四川省學術和技術帶頭人6人，四川省有突出貢獻專家4人，博導26人。現有研究隊伍中，90%具有博士、碩士學位，50%有海外經歷，45歲以下的中青年技術骨幹占85%。

人才培養

實驗室擁有1個國家重點學科、5個博士點以及5個碩士點，已具備每年250名左右碩士生、40名左右博士生、20名左右博士後的人才培養規模。2002年以來，共為國家培養碩士生1300名，博士生40名，博士後10名，為改善和提高我國電子薄膜與集成器件究水平提供了人才保障。實驗室共承擔國家/省部級項目200餘項，國撥縱向經費1.3億元。2002年-2009年，實驗室共獲得國家獎7項，省部一等獎7項、二等獎14項、三等獎16項，獲得發明專利授權80項，其中美國發明專利4項，發表論文1200餘篇，其中在APL、JAP、PRB、IEEE等國外刊物上發表500餘篇，發行著作7本，有40項成果被採用，直接經濟效益5億元。

科研設施

實驗室充分利用國家「211工程」/「985工程」建設經費、學校自籌學科建設經費等，集中資金重點建設了四個研究平台（「材料與器件製造工藝平台」、「微細加工平台」、「電磁性能測試與微結構表徵平台」和「集成電路設計平台」），同時，為滿足具體研究方向和研究內容的需要，實驗室科研人員經過與設備廠家的深入討論，採用部分部件改進、部分功能調整、軟件升級等多種形式對本實驗室的MOCVD系統、脈衝激光濺射沉積設備、四靶三英寸超導鍍膜沉積裝置、熔體快淬纖維/薄帶爐、旋轉式真空晶化爐、球型真空室、熔體轉輪超速急冷爐、高真空磁控與離子束濺射鍍膜系統、AFM等大型設備進行了改進，以上設備改進後，使用率上升，保障了實驗室科研項目高質量的完成，有力地推動了實驗室環境、科研設備等基礎條件的改善，使器件設計、材料製備、測試和分析的實驗條件達到國際先進水平。實驗室擁有各種儀器設備700餘台套，總價值8000餘萬元。

視頻

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