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AZO透明导电玻璃TCO（Transparentconducting oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是在玻璃表面通过物理或者化学镀膜的方法均匀镀上一层透明的导电氧化物薄膜，主要包括In、Sn、Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。

简介

与光伏电池的性能要求相匹配的三种TCO玻璃：

ITO镀膜玻璃，具有透过率高，膜层牢固，导电性好等特点，初期曾应用于光伏电池的前电极。但随着光吸收性能要求的提高，ITO镀膜不具备提高光散射的能力。且铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。ITO应用于太阳能电池时在等离子体中不够稳定，因此目前ITO镀膜已非光伏电池主流的电极玻璃。

SnO2镀膜也简称FTO，主要是用于生产建筑用玻璃。其导电性能比ITO略差，但具有成本相对较低，激光刻蚀容易，光学性能适宜等优点。氧化锌基薄膜的研究进展迅速，材料性能已可与ITO相比拟，结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌薄膜研究较为广泛，它的突出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好，是新型的光伏TCO产品。TCO玻璃应用在透明导电电极、高温电子器件等领域，如太阳能电池、液晶显示器、光探测器、窗口涂层等，目前ITO导电玻璃仍是平板显示器行业的主流玻璃电极产品。作为一种TCO玻璃，AZO可取代ITO和FTO，可广泛应用于：平板显示TCO玻璃、光伏TCO玻璃、低辐射（Low-E）玻璃、紫外吸收玻璃、全透明产品等领域。为AZO单层TCO玻璃与AZO/Cu/A+I4ZO多层TCO玻璃。在双碳的大背景下，该技术在绿色能源方面将具有广泛的应用领域。

二、技术要点

（解决的技术难题、技术指标等）

AZO薄膜电阻率低于10-4Ωcm，方块电阻低于20Ω/sq；紫外吸收率接近100%，可见光透过率高于92%，红外反射率高于70%；粗糙度和绒度根据需求制备；不均匀性低于7%。

三、成果形式

（专利、著作权、新产品、新技术等）

技术

四、应用领域及应用场景

用于光伏电池、平板显示器等制造

五、当前应用成效

用于光伏电池、平板显示器等制造

六、应用推广的领域和场景

AZO为Al掺杂ZnO，是一种典型的透明导电氧化物（TCO）材料，可取代目前商业广泛应用的In2O3:Sn（ITO）和SnO2:F（FTO），是新一代的TCO薄膜。应用于实际生产，可大幅度减小能耗，降低成本，提高性能。铝掺杂氧化锌(AZO)透明导电薄膜作为一种多功能的光电材料,广泛应用于薄膜太阳能电池、平板显示器、发光二极管等光电领域。电子智能化的发展促进了柔性器件的开发与应用,对于可以替代氧化铟锡(ITO)的AZO薄膜已经成为国内外的研究热点。这种具有优异的导电性能的薄膜,在透明电极等领域具有广阔的应用前景。提出的AZO透明导电玻璃制备技术和工艺可以优先提升传统方法的综合性能，已经在实际生产中应用。

七、应用推广的价值和前景

（产业带动能力、效率提升能力、市场规模等）

可以用于显示器件中的电极材料。如制作场致发光器件的电极，液晶显示器件中的透明电极以及电致变色显示器件中的电极等。可以防止静电，防电磁屏蔽层。还可以用于面发热体、热反射膜、太阳能电池、薄膜电阻器、气敏传感器、终端设备（用透明导电薄膜制作薄膜开关）以及汽车玻璃等。透明导电玻璃的用途十分广泛，除上面列举的一些用途外，还有一些其他的用途，如电阻照相，静电复印，光记录，磁记录，保护层等。这类材料的研制和开发日益受到人们的重视。随着平板显示器的需求量越来越大以及对太阳能利用的需求不断增大，透明导电玻璃的需求将会越来越大。预计其市场在今后几年将达100亿元以上。

八、技术优化的方向和途径

在不同应用场景下进行测试和工艺改进。