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大尺寸多光譜硫化鋅窗口材料該項目通過計算機數值模擬和實驗對比研究,優化噴嘴和沉積板結構與形狀的設計,獲得沉積室反應氣合理的流動狀態流型;精確控制沉積溫度,穩定表面反應速率,實現質量輸運控制;研究載氣和各反應氣體組分流量及組分比例對反應氣體流型和CVD ZnS體材料化學計量配比的影響,獲得高質量CVD ZnS多晶材料;通過CVD ZnS多晶的熱等靜壓透明化處理,獲得高緻密和光學性能優異的多光譜CVD ZnS多晶材料。

技術原理、技術要點

經過五年技術研究,已經突破大尺寸多光譜ZnS材料生長、關鍵性能提升和大面積材料性能一致性等關鍵技術,研製出尺寸為540×340×15mm多光譜ZnS窗口。授權專利:該項目獲得授權專利[1]12項(發明3項);主要科技創新點如下:突破了大尺寸材料沉積工藝技術;降低多光譜ZnS散射和吸收的技術;熱等靜壓後處理技術;大尺寸窗口光學、力學性能均勻性控制技術。

主要技術和經濟指標

目前本項目採用化學氣相沉積(CVD) 製備的ZnS材料經熱等靜壓透明化處理後獲得的多光譜ZnS材料主要技術指標均超過計劃指標,達到的具體指標如下:1.06um透過率72.21%;8-10um透過率>73%;散射率(632.8nm)0.0618 cm-1;吸收係數(1.06um)0.0154cm-1;折射率不均勻性(632.8nm)8.2×10-6;斷裂強度87.9MPa;維氏硬度1.51GPa;楊氏模量93.96 GPa;應力雙折射<5nm/cm;熱膨脹係數6.2×10-6;熱導率0.287 Wcm-1K-1。 本項目採用化學氣相沉積技術製備大尺寸多光譜硫化鋅紅外材料屬國內首創,填補空白。主要指標參數處於國內領先,國際先進。

有研國晶輝公司在2014-2016年,紅外窗口材料累積實現銷售額近8000萬元。通過本項目實施,CVD ZnS材料透明化處理技術推動相關紅外光學材料製備技術的進步;公司已形成具有我國自主知識產權[2]的硫化鋅窗口材料製備及其加工製造的相關產業,奠定了多光譜和毫米波-紅外多模複合制導技術材料發展的基礎。隨着國內、國際市場急速發展,社會效益和經濟效益進一步凸顯。

參考文獻

  1. 專利的類型及定義,搜狐,2019-02-15
  2. 知識產權須知,我們都了解多少 ,搜狐,2020-07-19