AZO透明導電玻璃

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AZO透明導電玻璃TCO（Transparentconducting oxide）玻璃，即透明導電氧化物鍍膜玻璃，是在玻璃表面通過物理或者化學鍍膜的方法均勻鍍上一層透明的導電氧化物薄膜，主要包括In、Sn、Zn和Cd的氧化物及其複合多元氧化物薄膜材料。

目錄

簡介

與光伏電池的性能要求相匹配的三種TCO玻璃：

ITO鍍膜玻璃，具有透過率高，膜層牢固，導電性好等特點，初期曾應用於光伏電池的前電極。但隨着光吸收性能要求的提高，ITO鍍膜不具備提高光散射的能力。且銦為稀有元素，在自然界中貯存量少，價格較高。ITO應用於太陽能電池時在等離子體中不夠穩定，因此目前ITO鍍膜已非光伏電池主流的電極玻璃。

SnO2鍍膜也簡稱FTO，主要是用於生產建築用玻璃。其導電性能比ITO略差，但具有成本相對較低，激光刻蝕容易，光學性能適宜等優點。氧化鋅基薄膜的研究進展迅速，材料性能已可與ITO相比擬，結構為六方纖鋅礦型。其中鋁摻雜的氧化鋅薄膜研究較為廣泛，它的突出優勢是原料易得，製造成本低廉，無毒，易於實現摻雜，且在等離子體中穩定性好，是新型的光伏TCO產品。TCO玻璃應用在透明導電電極、高溫電子器件等領域，如太陽能電池、液晶顯示器、光探測器、窗口塗層等，目前ITO導電玻璃仍是平板顯示器行業的主流玻璃電極產品。作為一種TCO玻璃，AZO可取代ITO和FTO，可廣泛應用於：平板顯示TCO玻璃、光伏TCO玻璃、低輻射（Low-E）玻璃、紫外吸收玻璃、全透明產品等領域。為AZO單層TCO玻璃與AZO/Cu/A+I4ZO多層TCO玻璃。在雙碳的大背景下，該技術在綠色能源方面將具有廣泛的應用領域。

二、技術要點

（解決的技術難題、技術指標等）

AZO薄膜電阻率低於10-4Ωcm，方塊電阻低於20Ω/sq；紫外吸收率接近100%，可見光透過率高於92%，紅外反射率高於70%；粗糙度和絨度根據需求製備；不均勻性低於7%。

三、成果形式

（專利、著作權、新產品、新技術等）

技術

四、應用領域及應用場景

用於光伏電池、平板顯示器等製造

五、當前應用成效

用於光伏電池、平板顯示器等製造

六、應用推廣的領域和場景

AZO為Al摻雜ZnO，是一種典型的透明導電氧化物（TCO）材料，可取代目前商業廣泛應用的In2O3:Sn（ITO）和SnO2:F（FTO），是新一代的TCO薄膜。應用於實際生產，可大幅度減小能耗，降低成本，提高性能。鋁摻雜氧化鋅(AZO)透明導電薄膜作為一種多功能的光電材料,廣泛應用於薄膜太陽能電池、平板顯示器、發光二極管等光電領域。電子智能化的發展促進了柔性器件的開發與應用,對於可以替代氧化銦錫(ITO)的AZO薄膜已經成為國內外的研究熱點。這種具有優異的導電性能的薄膜,在透明電極等領域具有廣闊的應用前景。提出的AZO透明導電玻璃製備技術和工藝可以優先提升傳統方法的綜合性能，已經在實際生產中應用。

七、應用推廣的價值和前景

（產業帶動能力、效率提升能力、市場規模等）

可以用於顯示器件中的電極材料。如製作場致發光器件的電極，液晶顯示器件中的透明電極以及電致變色顯示器件中的電極等。可以防止靜電，防電磁屏蔽層。還可以用於面發熱體、熱反射膜、太陽能電池、薄膜電阻器、氣敏傳感器、終端設備（用透明導電薄膜製作薄膜開關）以及汽車玻璃等。透明導電玻璃的用途十分廣泛，除上面列舉的一些用途外，還有一些其他的用途，如電阻照相，靜電複印，光記錄，磁記錄，保護層等。這類材料的研製和開發日益受到人們的重視。隨着平板顯示器的需求量越來越大以及對太陽能利用的需求不斷增大，透明導電玻璃的需求將會越來越大。預計其市場在今後幾年將達100億元以上。

八、技術優化的方向和途徑

在不同應用場景下進行測試和工藝改進。