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超导器件工艺平台
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{| class="wikitable" align="right"|-|<center><img src=http://5b0988e595225.cdn.sohucs.com/images/20190830/340fedcbb00e40f481605cded2f66237.jpeg width="300"></center><small>[https://www.sohu.com/a/337450243_578930 来自 搜狐网 的图片]</small>|}
'''超导器件工艺平台'''是中科院上海微系统所信息功能材料国家重点实验室“十二五”部署建设的核心器件平台之一,总投资额逾一亿元[[人民币]]。平台建设分为两期,一期建设面积约650平方米,投资额约6500万元,其中百级洁净区域约150平方米,其它为千级洁净区域。