超導器件工藝平台檢視原始碼討論檢視歷史

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超導器件工藝平台是中科院上海微系統所信息功能材料國家重點實驗室「十二五」部署建設的核心器件平台之一，總投資額逾一億元人民幣。平台建設分為兩期，一期建設面積約650平方米，投資額約6500萬元，其中百級潔淨區域約150平方米，其它為千級潔淨區域。

一期工藝設備包括

電子束曝光系統、多腔體磁控濺射系統、光刻機、光刻膠處理系統、反應離子刻蝕系統、複合型蒸發系統、X射線衍射儀、表面形貌分析儀、掃描電子顯微鏡等多台設備。目前一期建設於2013年完成，平台已開始正式運行。通過該工藝平台建設，將建成國際一流的低溫超導器件研發工藝線，實現我國超導量子干涉器件（SQUID）、超導單光子探測器件（SNSPD）等器件的自主研製能力。

二期建設規劃新增潔淨室面積約400平方米，擬添增步進投影光刻機、超高真空超薄膜濺射系統、離子束濺射沉積系統、光學薄膜濺射系統等工藝設備。進一步增強該平台超導電子學器件的研發條件並具備小批量超導器件製備能力，最終將形成一個面向國內外開放、共享的高端超導電子學器件研發平台。

研究方向

材料與物理

應用探索研究（Frontier Applications of Superconducting Devices）

單光子探測應用（SNSPD Applications）

生物磁成像（Bio-magnetic Imaging）

極低場磁共振成像（Ultralow Field Magnetic Resonance Imaging）

地球物理勘探（Geophysical Prospecting）

超導前沿應用

超導電子學應用研究是主要是利用超導傳感器、探測器及超導電路開展各種前沿應用探索。其核心是利用超導電子學器件及電路的極限靈敏度、低噪聲、高速度、高帶寬等性能優勢實現傳統半導體其它器件與電路無法實現的性能。相關技術研究除了超導傳感器和探測器以外，還包括低溫、電子學及系統集成等等。

中國科學院超導電子學卓越創新中心（以下簡稱超導卓越中心）主要目前主要開展兩類超導電子學應用。一類是基於超導單光子探測器（SNSPD: Superconducting Nanowire Single-Photon Detector）的應用，另外一類是基於超導量子干涉器件（SQUID: Superconducting Quantum Interference Device）的應用。

l、SNSPD前沿應用探索

超導卓越中心的SNSPD器件和集成系統性能已達到國際先進水平，通過和中科大等單位合作，已經將SNSPD技術成功應用於量子通信、量子指紋、量子隱形傳態、衛星測距及量子光源表徵等領域，創造相關領域應用的多項世界紀錄，包括404公里光纖量子密鑰分發等，成果曾獲兩院院士評選2014年中國十大科技進展。上海微系統所和SNSPD研究團隊已共同投資成立上海賦同科技有限公司，推進SNSPD技術的產業化。

目前超導卓越中心SNSPD團隊正在圍繞量子信息、空間激光通信、激光測距和雷達等領域的應用需求，繼續深入開展前沿應用探索。從應用需求出發，和SNSPD器件研發團隊合作，共同推動SNSPD技術發展。