變更

（3）电子[[聚合物]] <ref>[https://www.sohu.com/a/118287252_190993 这7类聚合物你了解多少？]，搜狐，2016-11-07 </ref> 与微结构传感器

实验室充分利用国家“[[211工程]]”/“[[985工程]]” <ref>[http://www.moe.gov.cn/s78/A22/xwb_left/moe_843/201112/t20111230_128828.html “985工程”简介]，中华人民共和国教育部</ref> 建设经费、学校自筹学科建设经费等，集中资金重点建设了四个研究平台（“材料与器件制造工艺平台”、“微细加工平台”、“电磁性能测试与微结构表征平台”和“集成电路设计平台”），同时，为满足具体研究方向和研究内容的需要，实验室科研人员经过与设备厂家的深入讨论，采用部分部件改进、部分功能调整、[[软件]]升级等多种形式对本实验室的MOCVD系统、脉冲激光溅射沉积设备、四靶三英寸超导镀膜沉积装置、熔体快淬纤维/薄带炉、旋转式真空晶化炉、球型真空室、熔体转轮超速急冷炉、高真空磁控与离子束溅射镀膜系统、AFM等大型设备进行了改进，以上设备改进后，使用率上升，保障了实验室科研项目高[[质量]]的完成，有力地推动了实验室环境、科研设备等基础条件的改善，使器件[[设计]]、材料制备、测试和分析的实验条件达到国际先进水平。实验室拥有各种仪器设备700余台套，总价值8000余万元。