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电子薄膜与集成器件国家重点实验室以电子科技大学为依托，于2006年7月经科技部批准建设，2008年10月通过科技部验收并正式开放运行。实验室紧密结合电子信息系统微小型化和单片集成的重大需求，重点围绕电子功能材料的薄膜化和电子器件的集成化开展基础、应用基础与工程应用的研究。2012年及2017年在科技部组织的国家重点实验室评估中被评为优秀类实验室。