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藍寶石晶片研磨減薄用金剛石砂輪材料合成與加工工藝

關鍵詞: 藍寶石晶片 研磨減薄 金剛石砂輪

應用領域

LED領域

成果簡介

經過近5年的開發,藍寶石研磨減薄用金剛石砂輪[1]已形成專業的生產線,產品精度和性能滿足客戶要求,已在國內知名藍寶石企業三安光電、澳洋聚燦、德豪等客戶得到批量使用,替代進口。 技術指標:動平衡達到G1.0等級標準,所加工芯片表面無暗裂,破片率1%以內,TTV≤10μm。 2020年「半導體減薄砂輪」獲北京市自主創新產品。

經濟效益與社會效益

藍寶石研磨減薄用金剛石砂輪年銷售額500-800萬元,年增長20%以上,部分產品已經達到或超過進口產品的性能;隨着技術的不斷進步,該系列產品將逐步替代進口,實現批量國產化,並促進藍寶石[2]加工設備的國產化,降低藍寶石加工企業的生產成本。

相關資訊

金剛石砂輪

以金剛石磨料為原料,分別用金屬粉、樹脂粉、陶瓷和電鍍金屬作結合劑,製成的中央有通孔的圓形固結磨具稱作金剛石砂輪(合金砂輪)。

金剛石砂輪在結構上與普通磨料砂輪有所不同,一般的是由金剛石磨料層、過渡層與基體組成。

工作層又稱金剛石層,由磨料、結合劑和填料組成,是砂輪的工作部分。過渡層又稱非金剛石層,由結合劑、金屬粉和填料組成,是將金剛石層牢固地連接在基體上的部分。

基體,用於承接磨料層,並在使用時用法蘭盤牢固地夾持在磨床主軸上。一般金屬結合劑製品選用鋼材、合金鋼粉作基體;樹脂結合劑選用鋁合金、電木作基體。由鋁、鋼或電木加工而成,起支承工作層和裝卡磨具的作用。砂輪成型質量的好壞和使用精度的高低都與基體有很大關係。

參考文獻