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界面態界面態是指硅-二氧化硅界面處而能值位於硅禁帶中的一些分立或連續的電子能級或能帶。它們可在很短的時間內和襯底半導體交換電荷，故又稱 快界面態。稱為快表面態的原因是為了和由吸附於二氧化硅外表面的分子/原子等所引起的外表面態加以區分。[1]
界面態一般也分為 施主和 受主兩種。不論能級在禁帶中的位置如何，若能級被電子占據時呈電中性，施放電子後呈正電性，則都稱為 施主型界面態；若能級空着時為電中性狀態，而接受電子後帶負電，則稱為 受主型界面態。
受主摻入半導體中的一類雜質或缺陷，它能接受半導體中的價帶電子，產生同數量的空穴，從而改變半導體的導電性能.例如，摻入半導體鍺和硅中的三價元素硼、鎵等原子都是受主.如果某一半導體的雜質總量中，受主的數量占多數，則這半導體是P型半導體.，這種雜質或缺陷叫做受主[1]，其能級叫做受主能級。價帶中的電子如獲得一定能量，可以跳到受主能級上，同時價帶中出現一個空穴。這一過程也可以理解為：束縛在受主能級上的空穴獲得一定能量後進入價帶，成為自由空穴，這一能量叫做空穴的電主取勝。電離能小的受主能級是淺受主能級，電離能大的是深受主能級。在能級圖上空穴能量是向下增加的，受主能級在價帶頂上方。硼、鋁、銦、鎵是鍺、硅中的淺受主能級雜質。硼、鋁、銦、鎵也稱為鍺、硅中的P型雜質。深能級受主可能成為電子陷阱或複合中心。