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| 王曦 | |
|---|---|
| 出生 | 1966年8月 |
| 國籍 | 中國 |
| 職業 | 教學科研工作者 |
| 知名於 | 2009年當選中國科學院院士 |
王曦，材料科學家，博士，中國科學院上海微系統與信息技術研究所研究員，2009年當選為中國科學院院士。
1966年8月生於上海，籍貫江蘇南通。1987年畢業於清華大學工程物理系，1990年、1993年先後獲中國科學院上海冶金研究所（現上海微系統與信息技術研究所）碩士、博士學位。在中國科學院上海微系統與信息技術研究所曾任研究員、博士生導師、所長助理、副所長、黨委副書記、黨委書記；現任黨委書記、常務副所長。兼任國家中長期科技規劃《極大規模集成電路製造裝備及成套工藝》重大專項總體專家組副組長。
1987年王曦從清華大學畢業後進入中國科學院上海冶金研究所學習，先後獲得碩士、博士學位；1996年作為訪問學者前往德國羅森多夫研究中心；1998年回國擔任離子束國家重點實驗室主任，同時擔任「高端硅基SOI材料」製備研究項目的負責人 ；1999年獲得國家傑出青年科學基金資助；2001年參與創建了上海新傲科技有限公司；2007年出任上海新傲科技股份有限公司董事長 ，並擔任「極大規模集成電路製造技術及成套工藝」科技重大專項總體專家組副組長；2009年當選中國科學院院士 ；2010年當選為第11屆中華全國青年聯合會副主席；2012年被聘為上海市決策諮詢委員會成員 ；2016年當選中國科學技術協會第九屆全國委員會副主席；2017年出任中國科學院上海高等研究院院長；2018年出任亞洲科學理事會主席 。
王曦致力於載能粒子束與固體相互作用物理現象的研究，包括先進電子材料和功能薄層材料的研究與開發以及表面工程等。
人物履歷
1983-1987年清華大學工程物理系核材料科學專業學習
1987-1990年中國科學院上海冶金研究所材料物理專業碩士研究生
1990-1994年中國科學院上海冶金研究所研究實習員（其間：1990.09-1993.12中國科學院上海冶金研究所材料物理專業在職研究生學習，獲工學博士學位；1993.07-1994.05澳大利亞聯邦科學與工業研究院訪問學者）
1994-1995年中國科學院上海冶金研究所副研究員
1995-1996年中國科學院上海冶金研究所第十六研究室副主任
1996-1997年中國科學院上海冶金研究所第三研究室副主任
1997-1998年中國科學院上海冶金研究所離子束開放實驗室主任
1998-2001年中國科學院上海冶金研究所第三研究室主任（1996.05-1998.06德國羅森多夫研究中心訪問學者）
2001-2002年中國科學院上海微系統與信息技術研究所第三研究室主任
2002-2004年中國科學院上海微系統與信息技術研究所所長助理、第三研究室主任兼上海新傲公司經理（其間：2003.09-2003.12上海市科技黨校中青年幹部培訓班學習）
2004-2007年中國科學院上海微系統與信息技術研究所副所長、黨委副書記
2007-2009年中國科學院上海微系統與信息技術研究所黨委書記、副所長
2009-2010年中國科學院上海微系統與信息技術研究所黨委書記、常務副所長（2009.12當選中國科學院院士）
2010-2016年中國科學院上海微系統與信息技術研究所所長
2016-2019年中國科學院上海微系統與信息技術研究所所長兼中國科學技術協會副主席（2017.04任中國科學院上海高等研究院院長）
2019-2020年科學技術部副部長、黨組成員，中國科學技術協會副主席（兼）[1]
2020-2022年 廣東省政府副省長、黨組成員
2022-2024年 廣東省委常委，省政府副省長、黨組成員
2024- 廣東省委常委、省委統戰部部長，省政協黨組副書記[2]
學術經歷
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1966年8月，王曦出生於上海，原籍江蘇南通。1983年，從江蘇省南通中學畢業，並考入清華大學工程物理系。
1987年，提前畢業並保送到中國科學院上海冶金研究所（現中國科學院上海微系統與信息技術研究所，簡稱上海微系統所），主攻離子注入方向，先後獲得碩士（1990年）、博士學位（1993年）。
1993年，博士畢業後留所工作，先後擔任助理研究員、副研究員、室副主任、研究員（1996年破格晉升）、博士生導師（1998年-）、室主任、所長助理。
1993年7月，赴澳大利亞聯邦科學與工業研究院訪問學者（至1994年5月）。
1996年5月，前往歐洲最大的離子束材料研究基地德國羅森多夫研究中心做洪堡訪問學者。
1998年6月，等不及還有一年才結束的洪堡訪問學者研究，回國競聘成為離子束國家重點實驗室主任，同時擔任「高端硅基SOI材料」製備研究項目的負責人。
1999年，獲得國家傑出青年科學基金資助。
2001年7月，上海微系統所發起成立了上海新傲科技有限公司，王曦和SOI課題組的幾位骨幹一同進入公司。
2004年4月，出任上海微系統所黨委副書記兼副所長。
2007年1月，出任上海微系統所黨委書記兼副所長，上海新傲科技股份有限公司董事長，國家中長期科學與技術發展規劃「極大規模集成電路製造技術及成套工藝（02專項）」科技重大專項總體專家組副組長。
2009年3月，擔任上海微系統所黨委書記、常務副所長，法定代表人。12月，當選中國科學院院士（技術科學部）。[3]
2010年8月26日，當選為第十一屆全國青年聯合會副主席，擔任科學技術界別工作委員會主任委員。
2012年，被聘為上海市決策諮詢委員會成員。
2013年5月，在上海市科委和嘉定區支持下，在嘉定註冊成立上海微技術工業研究院，參考比利時IMEC和台灣工研院ITRI等模式，建立集研發、工程、資訊、孵化及投資於一體的產業加速體系。
2016年6月2日，中國科協第九次全國代表大會舉行第九屆全委會第一次會議，王曦當選中國科學技術協會第九屆全國委員會副主席。
2017年5月，出任中國科學院上海高等研究院院長。
2018年6月，出任亞洲科學理事會主席（至2020年6月）。
科研成就
科研綜述
王曦長期致力於載能離子束與固體相互作用物理現象研究，並將研究成果應用於電子材料SOI（Silicon-on-insulator）的開發。在對離子注入SOI合成過程中的物理和化學過程研究基礎上，自主開發了一系列將SOI材料技術產業化的關鍵技術，建立了中國SOI材料研發和生產基地。2008年製備出中國第一片8英寸鍵合SOI晶片，實現了SOI晶片製備技術的重要突破。在載能離子束與固體相互作用以及離子束輔助薄膜沉積技術研究方面，揭示了載能離子作用下薄膜表面微結構、相組分、電子學、光學、生物學特性，實現了載能離子束薄膜生長的可控制性 。
科研項目&成果獎勵
曾獲中國科學院自然科學獎三等獎、中國科明獎二等獎、學院發上海市科技進步獎一等獎、中國科學院傑出科技成就獎、國家科技進步獎一等獎及「何梁何利基金科學與技術進步獎」等多項獎勵。[4]
人物評價
王曦是中國高端集成電路襯底材料的主要開拓者和領軍人物，他長期致力於載能離子束與固體相互作用物理現象研究，並將其應用於高端集成電路襯底材料SOI的開發，解決了中國急需的航天電子器件的「有無」問題；基於這一核心技術創建了中國唯一的SOI材料研發和生產基地，成功實現了中國SOI材料的產業化，推動了中國微電子材料的跨越式發展。 （中國科學院上海分院評）
參考資料
- ↑ 中央候補委員王曦出任廣東省副省長，中國新聞網
- ↑ 王曦已任廣東省委統戰部部長，新京報
- ↑ 王曦，中國科學院
- ↑ 中國科學院院士王曦個人簡介，上海科協