李婷(教授)檢視原始碼討論檢視歷史
李婷,女,北京大學集成電路學院教授。
教育背景
1991年8月在北京工業大學,半導體物理與器件專業獲學士學位
研究領域
微納結構製造工藝開發和工藝流程及版圖設計、大型工藝平台運行管理
科研項目
作為項目負責人,分別主持重點實驗室基金「金硅鍵合技術研究」和國家863項目「過程控制硅壓力傳感器及系統」項目,經費共計213萬元;
1996年至今,作為技術骨幹參與20餘項MEMS工藝和器件相關的NSFC、973、863、電子預研、重大專項課題、重大科技計劃等國家級科研項目;
獲獎情況
「硅基MEMS技術及應用研究」獲2003年北京市科技進步一等獎、2006年國家技術發明獎二等獎(王陽元,張大成,郝一龍,閆桂珍,李婷,張海霞);
IEC(國際電工委員會)微機電領域第一個中國提案標準的核心團隊人員;
多次獲得北京大學實驗技術獎和先進實驗室獎;
學術任職
北京大學微電子工藝實驗室副主任[1]