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| 吳漢明 | |
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中國工程院院士 | |
| 出生 |
1952年6月 江蘇省常州市 |
| 國籍 | 中國 |
| 職業 | 科研工作者 |
吳漢明，1952年6月出生，微電子工藝技術專家[1]，中國工程院院士[2]，中芯國際集成電路製造有限公司技術研發副總裁，燦芯創智微電子技術（北京）有限公司總裁 。
1987年吳漢明從中國科學院力學研究所博士畢業後先到美國得克薩斯大學奧斯汀分校和加利福尼亞大學伯克利分校進行博士後研究；1993年歸國後回到中國科學院力學研究所工作；1994年被破格提升為研究員；1995年到美國阿拉巴馬一家公司工作；1999年加盟英特爾並但擔任主任工程師；2001年進入中芯國際集成電路製造（北京）有限公司，擔任技術總監；2013年被評為北京市首批「北京學者」；2014年被評為第五屆全國傑出專業技術人才。
2019年當選中國工程院院士 。
人物簡介
吳漢明（1952.6.2- ），男，微電子技術（集成電路製造）專家，江蘇省常州市人。1987年畢業於中國科學院力學研究所，獲博士學位。現任芯創智（北京）微電子有限公司董事長，曾任中芯國際集成電路製造有限公司技術研發副總裁。
長期工作在我國集成電路芯片產業並做出突出貢獻。主持、參加了包括國家重大專項在內的0.13微米至14納米七代芯片大生產工藝技術研發，攻克了包括刻蝕等一系列關鍵工藝難點，與世界先進水平差距縮小至3至5年。用理論模型支持我國首台大生產等離子體刻蝕機研發。創建了設計IP核技術公共平台，支持芯片製造產業鏈協同發展。建立的非平衡低溫等離子體混合模型/整體模型成作為教案被世界著名大學教科書採用。擔任973項目首席科學家負責「量子點存儲器和磁存儲器技術研發」。發表著作論文116篇。授權發明專利67項。作為主要負責人，四次獲省部級一等獎，包括三次國家科技進步二等獎[3]。曾任「中國半導體技術國際會議（CSTIC）」大會主席[4] 。
人物履歷
1952年6月，吳漢明出生，初中還沒念完就遇到文革下鄉種地。
1976年，從中國科學技術大學畢業。
1978年，成為「文革」後第一批碩士研究生。
1987年，從中國科學院力學研究所畢業，獲得等離子體和磁流體力學博士學位；博士畢業後先到美國得克薩斯大學奧斯汀分校和加利福尼亞大學伯克利分校進行博士後研究，同時在加州諾發公司和英特爾公司任高級研發工程師。
1993年，歸國後晉升為中國科學院力學研究所工作。
1994年，被破格提升為研究員。
1995年，到美國阿拉巴馬一家公司工作，兩年便研發出世界第一套可商業化的等離子體工藝模擬的軟件。
1999年，加盟英特爾，成為主任工程師 。
2001年，進入中芯國際集成電路製造（北京）有限公司，擔任技術總監 。
2010年，被選為中國國際半導體技術年會（CSTIC 2010）大會主席 。
2011年，被推薦為中國工程院院士正式候選人 。
2013年，被評為北京市首批「北京學者」。
2015年，進入中國工程院院士增選第二輪評選 。
2019年11月22日，當選中國工程院院士 。
研究方向
研發高密度等離子體刻蝕，研究理論和實驗結果表明其等離子體密度達到深亞微米刻蝕的要求，研究結果申報了國家發明專利，發表在國際專業期刊雜誌上並得到廣泛引用。
主要成就
科研成就
科研綜述
2001年進入中芯國際集成電路製造（北京）有限公司後，組建了先進刻蝕技術工藝部，領導了0.13微米刻蝕工藝，在中國實現了用於大生產的雙鑲嵌法製備工藝，為中國首次實現銅互連提供了工藝基礎 。
研發了世界上第一套可以進行等離子體工藝模擬的商業軟件並得到廣泛使用。
| 吳漢明 | |
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吳漢明院士 |
論著專利
截至2014年10月，吳漢明在中國國內外主流刊物和會議上發表論文100多篇；申報發明專利84項，其中24項是國際專利 。
承擔項目
65-45-32納米CMOS產品成套工藝和產業化， 國家十一五02重大專項，項目總負責人
32/28納米CMOS成套產品工藝和產業化， 國家十二五重大專項，項目首席科學家
納米磁性自旋存儲器和半導體硅量子點存儲器的研製及其器件物理研究， 國家973項目，首席科學家
高密布電感等離子體刻蝕機研發， 國家863項目，參與
科研成果獎勵
2008年-- 90納米-65納米極大規模集成電路大生產關鍵技術研究-- 國家科技進步二等獎（第二完成人）
2013年-- 超大規模集成電路65-40納米成套產品工藝研發與產業化-- 國家科技進步二等獎（第一完成人）[5]
人才培養
講座報告
2014年6月，吳漢明應河北工業大學信息工程學院微電子技術與材料研究所邀請，對河北工業大學進行訪問交流，在北辰校區信息工程學院報告廳做了題為《集成電路技術與產業介紹》的學術報告 。
團隊建設
吳漢明注重人才培養，在他的工作室里，有一批博士和碩士畢業生。作為公司的技術研發副總裁，他除了要求下屬完成工作任務外，還不斷鼓勵他們更多地進行先進工藝的研究。吳漢明沒有把能力當成私房秘籍，而是公開地和下屬分享，如果下屬在做先進研發時遇到瓶頸，無論多忙，他都會給予幫助，上下級的關係變得更像是師生關係 。
榮譽表彰
2014年9月-- 第五屆全國傑出專業技術人才-- 中央組織部、中央宣傳部、人力資源社會保障部、科技部
2019年11月22日-- 中國工程院院士-- 中國工程院
社會任職
2010年， 北京市經濟開發區首批特聘專家
2012年11月， 北京市第十四屆人民代表大會代表
2014年06月， 河北工業大學榮譽教授
2019年12月20日， 全國集成電路「創業之芯」大賽專委會成員
北京大學軟件與微電子學院集成電路與智能系統系系主任
人物評價
吳漢明開創了高端集成電路產品中國國內設計和製造的先河 。（光明網評）
吳漢明把個人的喜怒哀樂和中國芯片事業的發展緊緊捆綁在了一起，對中國芯片事業發展做出了的貢獻 。（《科技日報》評）
吳漢明十分熱心地參加為貧困居民救助捐款等公益活動。他義務參加了由北京經濟開發區策劃的「集成電路製造技術發展」的科普影視片拍攝，向全社會普及集成電路的常識，為提高全民科學素質和科學知識努力貢獻自己的力量 。（《 人民日報海外版 》評）