半導體材料國家標準匯編檢視原始碼討論檢視歷史

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《半導體材料國家標準匯編》，中國標準出版社 編，出版社： 中國標準出版社。

書籍是全世界的營養品。生活里沒有書籍，就好像沒有陽光；智慧里沒有書籍，就好像鳥兒沒有翅膀。——莎士比亞

內容簡介

半導體材料現已成為現代信息社會的核心和基礎，半導體材料相關標準在國民經濟建設、社會可持續發展，以及國家安全中處於重要的戰略地位和作用。為了半導體企業的技術人員、標準化人員、管理人員等使用方便，編輯出版了《半導體材料國家標準匯編》。

本書收集截至2022年8月底發布的有關國家標準74項，主要包括硅多晶、鍺單晶、硅片和碳化硅等國家標準。

目錄

GB/T 1550-2018 非本徵半導體材料導電類型測試方法

GB/T 1551-2021 硅單晶電阻率的測定直排四探針法和直流兩探針法

GB/T 1553-2009 硅和鍺體內少數載流子壽命測定 光電導衰減法

GB/T 1554-2009 硅晶體完整性化學擇優腐蝕檢驗方法

GB/T 1555-2009 半導體單晶晶向測定方法

GB/T 1557-2018 硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法

GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法

GB/T 4058-2009 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法

GB/T 4059-2018 硅多晶氣氛區熔基磷檢驗方法

GB/T 4060-2018 硅多晶真空區熔基硼檢驗方法

GB/T 4061-2009 硅多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法

GB/T 4326-2006 非本徵半導體單晶霍爾遷移率和霍爾係數測量方法

GB/T 5252-2020 鍺單晶位錯密度的測試方法

GB/T 6616-2009 半導體硅片電阻率及硅薄膜薄層電阻測試方法非接觸渦流法

GB/T 6617-2009 硅片電阻率測定擴展電阻探針法

GB/T 6618-2009 硅片厚度和總厚度變化測試方法

GB/T 6619-2009 硅片彎曲度測試方法

GB/T 6620-2009 硅片翹曲度非接觸式測試方法

GB/T 6621-2009 硅片表面平整度測試方法

GB/T 6624-2009 硅拋光片表面質量目測檢驗方法

GB/T 8757-2006 砷化鎵中載流子濃度等離子共振測量方法

GB/T 8758-2006 砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法

GB/T 8760-2020 砷化鎵單晶位錯密度的測試方法

GB/T 11068-2006 砷化鎵外延層載流子濃度 電容-電壓測量方法

GB/T 11073-2007 硅片徑向電阻率變化的測量方法

GB/T 13387-2009 硅及其他電子材料晶片參考面長度測量方法

GB/T 13388-2009 硅片參考面結晶學取向X射線測試方法

GB/T 14140-2009 硅片直徑測量方法

GB/T 14141-2009 硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的測定 直排四探針法

GB/T 14142-2017 硅外延層晶體完整性檢驗方法腐蝕法

GB/T 14144-2009 硅晶體中間隙氧含量徑向變化測量方法

GB/T 14146-2021 硅外延層載流子濃度的測定 電容-電壓法

GB/T 14847-2010 重摻雜襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測量方法

GB/T 17170-2015 半絕緣砷化鎵單晶深施主EL2濃度紅外吸收測試方法

GB/T 18032-2000 砷化鎵單晶AB微缺陷檢驗方法

GB/T 19199-2015 半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的紅外吸收測試方法

GB/T 19444-2004 硅片氧沉澱特性的測定-間隙氧含量減少法

GB/T 19921-2018 硅拋光片表面顆粒測試方法

GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接觸式標準測試方法

GB/T 23513.1-2009 鍺精礦化學分析方法第1部分：鍺量的測定碘酸鉀滴定法

GB/T 23513.2-2009 鍺精礦化學分析方法第2部分：砷量的測定硫酸亞鐵銨滴定法

GB/T 23513.3-2009 鍺精礦化學分析方法第3部分：硫量的測定硫酸鋇重量法

GB/T 23513.4-2009 鍺精礦化學分析方法第4部分：氟量的測定離子選擇電極法

GB/T 23513.5-2009 鍺精礦化學分析方法第5部分：二氧化硅量的測定重量法

GB/T 24574-2009 硅單晶中Ⅲ-V族雜質的光致發光測試方法

GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次離子質譜檢測方法

GB/T 24576-2009 高分辨率X射線衍射測量GaAs襯底生長的AlGaAs中Al成分的試驗方法

GB/T 24577-2009 熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物

GB/T 24578-2015 硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測試方法

GB/T 24579-2009 酸浸取原子吸收光譜法測定 多晶硅表面金屬污染物

GB/T 24580-2009 重摻n型硅襯底中硼沾污的二次離子質譜檢測方法

GB/T 24581-2022 硅單晶中Ⅲ、V族雜質含量的測定低溫傅立葉變換紅外光譜法

GB/T 24582-2009 酸浸取-電感耦合等離子質譜儀測定 多晶硅表面金屬雜質

GB/T 26066-2010 硅晶片上淺腐蝕坑檢測的測試方法

GB/T 26067-2010 硅片切口尺寸測試方法

GB/T 26068-2018 硅片和硅錠載流子複合壽命的測試非接觸微波反射光電導衰減法

GB/T 26070-2010 化合物半導體拋光晶片亞表面損傷的反射差分譜測試方法

GB/T 26074-2010 鍺單晶電阻率直流四探針測量方法

GB/T 26289-2010 高純硒化學分析方法硼、鋁、鐵、鋅、砷、銀、錫、銻、碲、汞、鎂、鈦、鎳、銅、鎵、鎘、銦、鉛、鉍量的測定電感耦合等離子體質譜法

GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氫硅化學分析方法硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測定 電感耦合等離子體質譜法

GB/T 29057-2012 用區熔拉晶法和光譜分析法評價多晶硅棒的規程

GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度測量方法

GB/T 29507-2013 硅片平整度、厚度及總厚度變化測試 自動非接觸掃描法

GB/T 2984.9-2013 光伏電池用硅材料表面金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法

GB/T 29850-2013 光伏電池用硅材料補償度測量方法

GB/T 29851-2013 光伏電池用硅材料中B、Al受主雜質含量的二次離子質譜測量方法

GB/T 29852-2013 光伏電池用硅材料中P、As、Sb施主雜質含量的二次離子質譜測量方法

GB/T 30857-2014 藍寶石