超导器件工艺平台查看源代码讨论查看历史

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超导器件工艺平台是中科院上海微系统所信息功能材料国家重点实验室“十二五”部署建设的核心器件平台之一，总投资额逾一亿元人民币。平台建设分为两期，一期建设面积约650平方米，投资额约6500万元，其中百级洁净区域约150平方米，其它为千级洁净区域。

一期工艺设备包括

电子束曝光系统、多腔体磁控溅射系统、光刻机、光刻胶处理系统、反应离子刻蚀系统、复合型蒸发系统、X射线衍射仪、表面形貌分析仪、扫描电子显微镜等多台设备。目前一期建设于2013年完成，平台已开始正式运行。通过该工艺平台建设，将建成国际一流的低温超导器件研发工艺线，实现我国超导量子干涉器件（SQUID）、超导单光子探测器件（SNSPD）等器件的自主研制能力。

二期建设规划新增洁净室面积约400平方米，拟添增步进投影光刻机、超高真空超薄膜溅射系统、离子束溅射沉积系统、光学薄膜溅射系统等工艺设备。进一步增强该平台超导电子学器件的研发条件并具备小批量超导器件制备能力，最终将形成一个面向国内外开放、共享的高端超导电子学器件研发平台。

研究方向

材料与物理

应用探索研究（Frontier Applications of Superconducting Devices）

单光子探测应用（SNSPD Applications）

生物磁成像（Bio-magnetic Imaging）

极低场磁共振成像（Ultralow Field Magnetic Resonance Imaging）

地球物理勘探（Geophysical Prospecting）

超导前沿应用

超导电子学应用研究是主要是利用超导传感器、探测器及超导电路开展各种前沿应用探索。其核心是利用超导电子学器件及电路的极限灵敏度、低噪声、高速度、高带宽等性能优势实现传统半导体其它器件与电路无法实现的性能。相关技术研究除了超导传感器和探测器以外，还包括低温、电子学及系统集成等等。

中国科学院超导电子学卓越创新中心（以下简称超导卓越中心）主要目前主要开展两类超导电子学应用。一类是基于超导单光子探测器（SNSPD: Superconducting Nanowire Single-Photon Detector）的应用，另外一类是基于超导量子干涉器件（SQUID: Superconducting Quantum Interference Device）的应用。

l、SNSPD前沿应用探索

超导卓越中心的SNSPD器件和集成系统性能已达到国际先进水平，通过和中科大等单位合作，已经将SNSPD技术成功应用于量子通信、量子指纹、量子隐形传态、卫星测距及量子光源表征等领域，创造相关领域应用的多项世界纪录，包括404公里光纤量子密钥分发等，成果曾获两院院士评选2014年中国十大科技进展。上海微系统所和SNSPD研究团队已共同投资成立上海赋同科技有限公司，推进SNSPD技术的产业化。

目前超导卓越中心SNSPD团队正在围绕量子信息、空间激光通信、激光测距和雷达等领域的应用需求，继续深入开展前沿应用探索。从应用需求出发，和SNSPD器件研发团队合作，共同推动SNSPD技术发展。