李婷(教授)查看源代码讨论查看历史
李婷,女,北京大学集成电路学院教授。
教育背景
1991年8月在北京工业大学,半导体物理与器件专业获学士学位
研究领域
微纳结构制造工艺开发和工艺流程及版图设计、大型工艺平台运行管理
科研项目
作为项目负责人,分别主持重点实验室基金“金硅键合技术研究”和国家863项目“过程控制硅压力传感器及系统”项目,经费共计213万元;
1996年至今,作为技术骨干参与20余项MEMS工艺和器件相关的NSFC、973、863、电子预研、重大专项课题、重大科技计划等国家级科研项目;
获奖情况
“硅基MEMS技术及应用研究”获2003年北京市科技进步一等奖、2006年国家技术发明奖二等奖(王阳元,张大成,郝一龙,闫桂珍,李婷,张海霞);
IEC(国际电工委员会)微机电领域第一个中国提案标准的核心团队人员;
多次获得北京大学实验技术奖和先进实验室奖;
学术任职
北京大学微电子工艺实验室副主任[1]