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微纳研究与制造中心是中国科学技术大学”十二五”规划重点建设工程之一，是中国科学技术大学建造的第六个公共实验中心。中心自2010年通过建设规划，2012年5月开工建设，2013年12月主体建设竣工。中心于2014年3月正式揭牌成立投入运行。

中心介绍

微纳研究与制造中心是中国科学技术大学”十二五”规划重点建设工程之一。中心自2010年通过建设规划，2012年5月开工建设，2013年12月主体建设竣工。中心于2014年3月正式揭牌成立投入试运行，为中国科技大学公共实验中心之一。

特色与运行：

微纳研究与制造中心由占地1000m2的微纳净化实验室和200m2的微纳表征实验室组成，并具备配套厂务设施。微纳研究与制造中心拥有百级洁净间（ISO14644标准5级）500m2，并具有净化等级升级空间。中心已投入7000余万元采购国内外微纳加工、制造与表征装备60余台。

洁净室概况

微纳研究与制造中心净化实验室总建筑面积3664m2，主体结构为二层，一层为洁净室，二层为辅助层（机械泵房、空调机房等）为微纳研究与制造中心设备提供水电气供给及检测；洁净室采用垂直式层流换气系统，采用“工艺区-灰区”式洁净室结构，可有效控制洁净度；洁净室备的水处理系统，可提供18.2MΩ超纯水；微纳研究与制造中心提供硅烷、氨气等22种特种气体供给及检测，液氮站集中供给5N（普氮）及最高9N的超纯氮，可有效保障工艺及安全。微纳研究与制造中心配备柴发及不间断供电系统保障电力供给，配备专业的尾气及废液处理系统，保障洁净室排放达标。微纳研究与制造中心设有24小时实时参数监控，保证中心安全运行。

洁净度ISO14644标准5级: 450m2；ISO14644 6级标准: 450m2；

振动： 微震等级 ；

温度： 22℃±0.5℃ （ISO14644标准5级区域）；

（ISO14644 6级标准区域）；

（电子束光刻房间）；

（掩模制版间）；

湿度： 45%±5%（ISO14644 5级标准区域）；

（ISO14644 6级标准区域）；

学术报告

与科研产出

自2014年投入使用至今，微纳研究与制造中心组织了涉及微纳制造领域的相关技术，纳米光学，量子超导芯片，柔性器件以及石墨烯新能源等微纳交叉学科的学术报告。报告专家均为国内外知名专家学者，如美国普渡大学叶培德教授，中国科学技术大学陆朝阳教授等。

微纳研究与制造中心现支撑中国科学技术大学校内数十个重点课题组，如潘建伟院士课题组，郭光灿院士课题组，杜江峰院士课题组等。产出的科研成果被国际知名期刊如Nature communications等收录。

对外开放

依照《中国科学技术大学公共实验中心建设运行管理办法》指导，微纳研究与制造中心已加入中国科学院大型仪器区域中心网络管理系统。扩大开放共享范围，为周边科研院所的科研活动和地方经济发展提供技术支撑。