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{| class="wikitable" align="right" |- |<center><img src=https://www0.kfzimg.com/sw/kfz-cos/kfzimg/5126996/90d01f583abe5146_s.jpg width="260"></center> <small>[https://book.kongfz.com/508937/7204307210 来自 孔夫子网 的图片]</small> |} 《'''三维芯片集成与封装技术'''》,[美] 刘汉诚 著,出版社: 机械工业出版社。 截至2022年,机械工业出版社年出版新书近2700种,年引进和输出版权总量近800种,产品横跨科技出版、教育出版、大众出版三大板块,覆盖机械、电工电子、[[汽车]]、建筑、计算机、经管、心理<ref>[https://www.sohu.com/a/387427297_768618 谈心理健康教育对学生的重要性 ],搜狐,2020-04-12</ref>、生活、科普、艺术设计、文创等十多个专业领域,以及高等教育<ref>[https://www.sohu.com/a/440916094_120868911 2020中国高等教育十大关键词],搜狐,2020-12-28</ref>、[[职业教育]]、技能教育等不同教育层次。 ==内容简介== 本书系统地讨论了用于电子、光电子和MEMS器件的2.5D、3D,以及3DIC集成和封装技术的近期新进展和未来可能的演变趋势,同时详尽地讨论了IC的3D集成和封装关键技术中存在的主要工艺问题和可能的解决方案。通过介绍半导体产业中IC按照摩尔定律的发展以及演变的历史,阐述3D集成和封装的优势和挑战,结合当前3D集成关键技术的发展重点讨论TSV制程与模型、晶圆减薄与薄晶圆在封装组装过程中的拿持晶圆键合技术、3D堆叠的微凸点制造与组装技术、3DSi集成、2.5D/3DIC集成和采用无源转接板的3DIC集成、2.5D/3DIC集成的热管理技术、封装基板技术,以及存储器、LED、MEMS、CIS3DIC集成等关键技术问题,最后讨论3DIC封装技术。 本书适合从事电子、光电子、MEMS等器件3D集成的[[工程师]]、科研人员和技术管理人员阅读,也可以作为高等院校相关专业高年级本科生和研究生的教材和参等 ==目录== 译者序 原书前言 第1章 半导体IC封装的3D集成1 1.1引言1 1.2 3D集成2 1.3 3D IC封装4 1.4 3D Si集成5 1.5 3D IC集成7 1.5.1混合存储器立方7 1.5.2宽I/O DRAM和宽I/O29 1.5.3高带宽[[存储器]]9 1.5.4宽I/O存储器(或逻辑对逻辑)11 1.5.5无源转接板(2.5D IC集成)12 1.6 TSV时代之前的供应链13 1.6.1前道工艺13 1.6.2后道工艺13 1.6.3封装和测试代工13 1.7 TSV时代的供应链——谁制造TSV?14 1.7.1TSV通过先通孔工艺制造14 1.7.2TSV通过中通孔工艺制造14 1.7.3TSV通过后通孔(从正面)工艺制造14 1.7.4TSV通过后通孔(从背面)工艺制造14 1.7.5无源TSV转接板怎么样?14 1.7.6谁想为无源转接板制造TSV?15 1.7.7总结和建议15 1.8 TSV时代的供应链——谁负责MEOL、组装和测试?15 1.8.1宽I/O存储器(面对背)的中通孔TSV制造工艺15 1.8.2宽I/O存储器(面对面)的中通孔TSV制造工艺16 1.8.3宽I/O DRAM的中通孔TSV制造工艺17 1.8.4带有TSV/RDL无源转接板的2.5D IC集成17 1.8.5总结和建议19 …… ==参考文献== [[Category:040 類書總論;百科全書總論]]
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