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傳感器材料分半導體材料、陶瓷材料、金屬材料和有機材料四大類。 [1] 金屬用作傳感器的功能材料不如半導體和陶瓷材料廣泛,主要用在機械傳感器和電磁傳感器中,用到的材料有鉑、銅、鋁、金、銀、鈷合金等。

有機材料用於傳感器還處在開發階段,主要用於力敏、濕度、氣體、離子、有機分子等傳感器,所用材料有高分子電解質、吸濕樹脂、高分子膜、有機半導體聚咪唑、酶膜等。

半導體傳感器主要是硅材料,其次是鍺、砷化鎵銻化銦碲化鉛硫化鎘等。主要用於製造力敏、熱敏、光敏、磁敏、射線敏等傳感器。

陶瓷傳感器材料主要有氧化鐵、氧化錫、氧化鋅、氧化鋯氧化鈦、氧化鋁、鈦酸鋇等,用於製造氣敏、濕敏、熱敏、紅外敏、離子敏等傳感器。 [2]

參考文獻