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'''中国仪表仪器学会微纳器件与系统技术分会'''(MEMS & NEMS Society of China,CIS,简称MNSC,CIS)是2005年7月由民政部批准、获政府支持,在北京成立的。分会挂靠于清华大学和北京大学,是全国性的二级学会。学会致力于推动和鼓励我国微米纳米 <ref>[https://www.sohu.com/a/410968123_278665 微米和纳米粒子的单粒子计数器],搜狐,2020-07-31 </ref> 器件与系统领域的技术创新、产业化发展和青年科技人才的培养。
==刊物==
1、各理事单位在微纳器件及系统技术的创新和产业化方面取得了巨大的进展。
在过去一年里,学会在微纳器件及系统技术研究方面呈现出蓬勃发展的局面。常州大学光伏科学与工程协同创新中心丁建宁教授在新型压电材料的研究方面取得重大突破,最新工作发表在7月份刊出的Science期刊上;清华大学微电子所任天令教授团队,在新型二维纳米材料 <ref>[https://www.sohu.com/a/475810314_121074726 关于纳米材料你知道多少],搜狐,2021-07-06</ref> 研究方面取得重大进展,围绕石墨烯、二硫化钼等新型材料,研制出新型纳米材料的扬声器,相关工作发表在Nature Communication、Nano Letters等期刊上。
同时,学会理事单位在微纳器件及系统技术的产业化方面也取得了较好的成绩。深圳精量电子被TE收购,并收购了ICSensor,主要从事MEMS压力传感器和加速度计的生产,压力传感器的出货量达到千万只/年;北方微电子有限公司在深刻蚀设备方面取得了新的突破,该类设备在国内市场的占有量逐步增加;中科院电子所所研制的高精度MEMS谐振式压力传感器,正在与多个用户开展示范应用和推广工作。
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