變更

式中I0为恒流源电流， E为恒压源电压。压阻电桥的输出电压直接与应变(ε)成正比，与电阻温度系数引起的RT无关,这使传感器的温度漂移大大减小。半导体压力传感器中应用最广的是一种检测流体压力的传感器。其主要结构是全部由单晶硅材料构成的膜盒（如图2）。膜片制成杯状,杯底是承受外力的部分，压力电桥就制作在杯底上面。用同样的硅单晶材料制成圆环台座，然后把膜片粘结在台座上。这种压力传感器具有灵敏度高、体积小、固体化等优点，已在航空、宇宙航行、自动化仪表和医疗仪器等方面得到广泛应用。<ref>[https://baijiahao.baidu.com/s?id=1627890078197759973&wfr=spider&for=pc 半导体压力传感器]搜狗</ref>

=='''参考文献'''==