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涡轮分子泵

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===性能===
泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外,还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为10<sup>8</sup>~10<sup>9</sup>;对氢 为102~104 为10<sup>2</sup>~10<sup>4</sup> ;对分子量大的气体如油蒸气则大 于1010 于10<sup>10</sup>
泵的极限压力为10<sup>-9Pa 9</sup>Pa ,工作压力范围为10<sup>-1 </sup> ~10<sup>-8Pa 8</sup>Pa ,抽气速率为几十到几千升每秒(1L=10<sup>-3m3 3</sup>m<sup>3</sup> )。
涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性,因此要求配有工作压力为1~10<sup>-2Pa 2</sup>Pa 的前级真空泵。
分子泵本身由转速为10000~60000转/分的中频电动机直联驱动。
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