變更

这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成[[硅压阻芯片]],并将此芯片的周边固定封装于外壳之内，引出电极引线（概述图）。[[压阻式压力传感器]]又称为固态[[压力传感器]]，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的。概述图中硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔，另一面是与大气连通的低压腔。[[硅膜片]]一般设计成周边固支的圆形，直径与厚度比约为20～60。在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥，其中两条位于压应力区，另两条处于拉应力区，相对于膜片中心对称。图2中是两种微型压力传感器的膜片，图中数字的单位为毫米。此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形[[敏感元件]]的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条　，两条[[受拉应力]]的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。。

==工作原理==