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《'''电子工业专用设备'''》本刊主要面对国内外从事电子专用设备研究、 [[ 设计 ]] 、 [[ 制造 ]] 及应用领域的科学工作者、 [[ 工程技术 ]] 人员、大专院校师生及管理干部等。其宗旨是：坚持四项基本原则、贯彻“双百”方针，报导国内外电子专用设备在科研、生产中具有先进水平的科研成果，学术动态等，为促进学术<ref>[https://www.sohu.com/a/417153536_120214179 “学术是不分语言的”]，搜狐，2020-09-08 </ref>与技术交流和提高我国电子专用设备科研生产水平服务，它是我国电子专用设备行业创刊最早、且唯一全面报导各类电子专用设备的刊物，在国内外影响日益扩大， [[ 读者 ]] 遍布全国。

《电子工业专用设备》（月刊）创刊于1971年，是由中国 [[ 信息产业部 ]] 主管, ， 中国电子科技集团公司第四十五研究所主办, ， 中国电子专用设备工业协会会刊；是业内最具权威的国内外公开发行的国家级刊物。是目前国内电子专用设备领域唯一获正规出版发行的权威专业刊物，多年来为推动我国电子专用设备的发展发挥了极其重要的作用。荣获2001~2002年度 [[ 标准化 ]] 规范化部级奖、获2003~2004年度出版质量部级奖，中国电子科技文摘收录期刊。

1971年，《 [[ 半导体 ]] 设备》创刊。

2014年12月，该刊成为中国原国家新闻出版广电总局第一批认定 [[ 学术 ]][[ 期刊 ]] 。

《电子工业专用设备》主要报道中国国内外半导体设备，反映微电子制造前、后道的新工艺、新 [[ 设备 ]] 在科研、技术 [[ 工程 ]] 和应用方面的发展趋势与成就。

《电子工业专用设备》主要有趋势与展望、专题报道、IC前沿制程、封装与测试、 [[ 行业 ]] 快讯、新技术应用、 [[ 企业 ]] 介绍等栏目。

截至1991年，《电子工业专用设备》共出版57期，刊登各类 [[ 科技 ]] 稿件691篇，总载稿量530多万字。

据2020年8月11日 [[ 中国知网]]

据2020年8月11日万方数据知识服务平台显示，《电子工业专用设备》共载文3627篇、 [[ 基金 ]][[ 论文 ]] 量为153篇。

《电子工业专用设备》是中国电子专用设备工业协会会刊，被中文核心期刊（遴选） [[ 数据库 ]] 、中国知网、中国学术期刊（光盘版）、万方数据——数字化期刊群等收录。

据2020年8月11日中国知网显示，《电子工业专用设备》总被 [[ 下 载531190 载]]531190 次、总被引11388次，（2019版）复合影响因子为0.191、（2019版）综合影响因子为0.080。

据2020年8月11日 [[ 万方数据知识服务平台 ]] 显示，《电子工业专用设备》被引量为9954次、下载量为106087次；据2018年中国期刊引证报告（扩刊版）数据显示，《电子工业专用设备》影响因子为0.2，在全部统计源期刊（6719种）中排第6020名。

《电子工业专用设备》是《Caj-cd规范》获奖期刊，曾获得2001—2002年度标准化规范化部级奖、2003—2004年度出版 [[ 质量 ]] 部级奖等荣誉。