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''' 山东大学微电子材料与器件研究所 ''' 是在原物理学院光电材料与器件研究所基础上建立的。1989年在原 [[ 物理系 ]] 半导体研究室的基础上成立了光电材料与器件研究所，光电材料与器件研究所建所以来，连续承担了“八五”、“九五”国家重点科技攻关项目、国家军工配套项目， [[ 国家自然科学基金 ]] 项目以及 [[ 教育部 ]] 和 [[ 山东省 ]] 各类科研项目；取得科技成果奖励20多项，其中“30×30cmITO透明导电膜”、“氧化物光电薄膜研究”、“电子工业替代ODS清洗剂及清洗技术研究”等为国家和省部级重要科技成果，建立起“国家电子元器件清洗技术研究推广中心”。

山东大学微电子材料与器件研究所经过“985”和“211”学科建设，微电子材料与器件研究所现有一流微细加工实验室，已具备材料生长、纳米器件工艺加工能力，2011年申请获批山东省微电子材料与器件省重点实验室。微电子材料与器件研究所科研主要设备包括： [[ 电子束曝光系统 ]] 、紫外光刻机、MOCVD系统、PLD系统、 [[ 电子束蒸发 ]] 台、反应离子刻蚀、磁控溅射以及半导体材料与器件光电特性表征等设备。

山东大学微电子材料与器件研究所在强有力的硬件条件支撑下，微电子材料与器件研究所研究已融入微电子前沿主流的研究方向，研究内容包括：纳米电子和太赫兹器件、印刷电子、GaN电子器件和光电子器件、宽禁带半导体材料与器件、有机自旋半导体材料与器件、 [[ 半导体存储器 ]] 、薄膜太阳能电池等，本所的科学研究正朝着微电子主流研究方向大踏步迈进。

研究方向：纳米电子和太赫兹器件、柔性薄膜电子器件、 [[ 宽禁带半导体材料 ]] 与器件、有机自旋半导体材料与器件、半导体存储器。

每年发表SCI收录论文30多篇； [[ 授权 ]] 多项发明专利。

（2） [[ 材料 ]] 生长设备

高真空MOCVD设备， [[ 激光 ]][[ 脉冲 ]] 沉积设备，磁控溅射设备，有机真空蒸发设备。

高频器件特性测试系统（太赫兹测试系统，安捷伦公司），低温霍尔测试系统， [[ 半导体 ]] 参数分析仪（安捷伦公司），高分辨扫描电镜，宽带隙材料光学测试系统。[[Category:520 教育總論]]