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[[File:传感技术联合国家重点实验室.jpeg|有框|右|<big>传感技术联合国家重点实验室揭牌仪式</big>[http://images.china.cn/site1000/2019-05/20/f321f6ff-afbf-43bb-b7fe-dfbe584b611f.jpg 原图链接][http://edu.china.com.cn/2019-05/20/content_74803851.htm 来自 中国网 的图片]]]
==单位简介==
依托单位: [[ 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ]] 、中国科学院电子学研究所。
1989年,通过验收后正式对外开放,于1993年、1997年和2002年三次通过国家评估。
实验室由南北两个基地及四个 [[ 专业 ]] 点组成,南方依托单位为中科院上海微系统与 [[ 信息技术 ]] 研究所,两个专业点分别在上海技术物理研究所、合肥智能机械研究所,北方依托单位为电子学研究所,两个专业点分别在半导体研究所和微生物研究所。
现任实验室主任为杨根庆研究员;学术委员会主任为朱敏慧研究员。
实验室性质属应用基础研究,南方各单位主要侧重 [[ 物理 ]] 量器件及其相关技术研究,北方各单位主要侧重化学量器件及其相关 [[ 技术 ]] 研究。
==科研领域==
实验室主要 [[ 学术 ]] 方向,是以微电子技术,和微机械加工技术为基础的微 [[ 传感器 ]] 及微系统研究。
其主要研究内容为:
(1)基础研究:为微米尺度力学、 [[ 光学 ]] 、热学与材料特性以及真空微电子学研究;
(2)制备 [[ 技术 ]] 研究:MEMS加工技术研究;
(3)新型器件研究:新型 [[ 传感器 ]] 原理及器件研究;
(4)系统技术研究:集成化微系统设计、微型化技术及系统集成、封装和系统测试等研究。
实验室建设至今15年来,先后主持 [[ 国家 ]] 攀登B计划项目及“973”计划,以及“七五”至“十五”国家攻关项目,开展了微电子机械系统(MEMS)<ref>[https://www.sohu.com/a/291605099_132567 你真的懂MEMS吗? ],搜狐,2019-01-26</ref>加工技术及器件研究,如在国内首次研制成功微型静电晃动马达、微型谐振子、压阻型微陀螺,高冲击加速度传感器,高精度谐振压力传感器,真空微电子压力传感器以及微机械红外热堆阵列等器件,近几年在微米尺度光学器件、微米尺度动力学、微摩擦机理、微米尺度的 [[ 材料 ]] 特性等方面做出了创新性的工作。
特别是为国家的气象卫星系列、海洋 [[ 卫星 ]] 、 [[ 神州飞船 ]] 有效载荷提供了全部碲镉汞红外传感器或焦平面组件,图象质量已达到国际先进水平。
实验室历年来研制的铂薄膜电阻温度传感器、厚膜压力传感器、离子敏场效应管生物传感器、表面等离子体谐振测试仪、高温压力传感器等系统均已产品化或已技术转让。实验室还在航天器微型化技术等方面为国家重大战略 [[ 工程 ]] 提供技术论证报告,开展相关研究。
为了与 [[ 世界 ]][[ 传感技术 ]] 发展同步,根据现有基础,实验室下一步要针对国家需求和学科前沿,以微科学和微技术为基础,开展微传感器、微执行器及微系统创新性研究;在队伍建设上要引进和培养优秀人才,更多地加强与国内外单位的合作研究;在研究上要集中力量予以突破,取得重大成果;对已在推广应用的项目及课题,要加大投入,取得更大效益。
==科研荣誉==
近年来实验室共获国家 [[ 科技 ]] 进步一等奖等国家级和省部级奖项10多项,在国际和国内核心刊物上发表 [[ 学术 ]] 论文300多篇,授权发明专利7项,并多次在国际会议上作特邀报告。
==视频==
==参考文献==
[[Category:303 科學教育及研究]]