中国仪表仪器学会微纳器件与系统技术分会

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中国仪表仪器学会微纳器件与系统技术分会（MEMS & NEMS Society of China,CIS,简称MNSC,CIS）是2005年7月由民政部批准、获政府支持，在北京成立的。分会挂靠于清华大学和北京大学，是全国性的二级学会。学会致力于推动和鼓励我国微米纳米器件与系统领域的技术创新、产业化发展和青年科技人才的培养。

目录

刊物

《MEMS&NEMS》于2007年5月创办的电子期刊，是学会推广微纳米新技术，加强学术交流，加快科技成果产业化的一个重要平台，关注于国内外最新技术的发展研究。旨在为新技术在各领域应用提供交流咨询服务，促进国内纳米新技术的推广和应用。

主要学术活动

微米纳米技术“创新与产业化”国际研讨会（The International Workshop on Innovation and Commercialization of Micro & Nanotechnology, ICMAN）是每年举行一次的国际性的学术会议，主题为“创新与产业化”，旨在交流中国及世界市场对于微纳米技术的需求,探索微纳米技术的商业化模式,推动中国与相关地区微纳米技术的投资与技术合作，构建亚洲微纳米技术发展的网络平台。该会议自2007年起分别在苏州和西安成功举办了第一届和第二届，会议规模在100~150人左右，国外代表占将近30%，是在中国大陆举办的真正意义上的国际会议。每届会议均得到政府部门的大力支持，近年已经成为国内外微米纳米产业界有影响的论坛，对帮助我国的企事业单位、科研机构和大专院校深入了解并更好地参与微米纳米技术的产业化进程有深远的影响。2009年,ICMAN在重庆举办，会议质量和规模均超过以往。

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中国仪器仪表学会微纳器件及系统技术分会二届四次常务理事会召开

2015年8月2日，中国仪器仪表学会微纳器件及系统技术分会理事会在北京中国科学院电子学研究所举行，理事长周兆英教授、副理事长温志渝教授、朱荣教授以及常务理事、理事等26名代表参加会议，分会理事长主持会议。

首先，由副理事长兼秘书长朱荣教授做2015年学会工作报告，系统总结了2015年学会日常工作、ICMAN2015国际会议筹备、“创新与产业化”学生大赛准备工作、会员及会员单位发展、电子期刊、“微纳产业资讯网”搭建等工作。 理事会进行了新理事和常务理事增补选举，崔天宏教授、刘昶教授、俞度立研究员三位“千人计划”入选者当选为学会新理事，王军波研究员增补为常务理事。

来自清华大学、中科院电子所传感技术国家重点实验室、大连理工大学辽宁省微系统中心、常州大学江苏省协同创新中心、重庆大学国防重点实验室、北京大学、北京航空航天大学、西南交通大学、福州大学、太原理工大学、航天33所、深圳精量电子、北方微电子等大学、研究所和企业的与会理事积极发言，分别介绍了各单位的一年来的科研进展，探讨了未来我国微纳器件与系统的发展趋势，为我国的微纳器件及系统的创新和产业化进言献策。概要如下：

1、各理事单位在微纳器件及系统技术的创新和产业化方面取得了巨大的进展。

在过去一年里，学会在微纳器件及系统技术研究方面呈现出蓬勃发展的局面。常州大学光伏科学与工程协同创新中心丁建宁教授在新型压电材料的研究方面取得重大突破，最新工作发表在7月份刊出的Science期刊上；清华大学微电子所任天令教授团队，在新型二维纳米材料研究方面取得重大进展，围绕石墨烯、二硫化钼等新型材料，研制出新型纳米材料的扬声器，相关工作发表在Nature Communication、Nano Letters等期刊上。

同时，学会理事单位在微纳器件及系统技术的产业化方面也取得了较好的成绩。深圳精量电子被TE收购，并收购了ICSensor，主要从事MEMS压力传感器和加速度计的生产，压力传感器的出货量达到千万只/年；北方微电子有限公司在深刻蚀设备方面取得了新的突破，该类设备在国内市场的占有量逐步增加;中科院电子所所研制的高精度MEMS谐振式压力传感器，正在与多个用户开展示范应用和推广工作。

2、三位从事微纳器件及系统技术的“千人计划”入选者加盟学会，为学会带来新的生机和活力。

清华大学崔天宏教授拥有多年的微米纳米技术研究经验和积累，并且在与Nature出版集团合作创办期刊方面拥有丰富的经验，已被SCI收录的Light: Science & Applications影响因子(2014年超过14)跻身全球期刊前100名，跃居光学类期刊第2名，为大陆区影响因子最高期刊。Nature与中科院电子所合办的Microsystem &Nanoengineering已正式上线，这也是Nature出版集团专门针对微纳器件及系统技术领域的学术刊物。

中国科学院电子学研究所刘昶教授，是在北美地区微纳器件及系统技术领域获得教授的中国大陆留学生第一人，他在微纳加工、仿生传感和芯片融合等方面拥有多年的研究经验，目前担任传感技术国家重点实验室北方基地主任。

中国科学院地质与地球物理研究所俞度立研究员，在美国微纳器件及系统技术领域的产业界打拼数十年，拥有丰富的产业经验和积累，目前从事地球物理勘探和油气资源勘探的高性能MEMS传感器产业化工作。

他们的加入将为我学会在创新研究和产业化发展带来新的生机和活力。

3、第九届微米纳米技术创新与产业化国际论坛暨第二届学生创新创业大赛筹备情况介绍。第九届微米纳米技术创新与产业化国际论坛(ICMAN2015)与Microsystems &Nanoengineering Summit 2015 (MAN 2015)国际论坛联合举办，由中国科学院电子学研究所具体承办。

本次会议包含生物医疗微纳系统、微波光学集成系统、微纳先进制造、环境微纳系统、可穿戴微纳系统和消费电子微纳系统6个主题。大会不仅邀请了微米纳米技术领域的国内外知名专家学者，如CalTech的YCTai、Delft 的Paddy French、Tohoku的Takahito Ono等，还特别邀请了来自产业界的知名公司，如中国移动、华为公司传感器事业部、青岛歌尔、苏州晶方、纳米加工平台、益丰电子、英特神思、北方微电子等。

本次会议还附设墙报和展览，并举办了第二届学生微米纳米技术创新与创业大赛，经推荐和筛选，共有9只队伍跻身最终决赛，由大会评委会评选出3名优胜奖项目。

国际论坛介绍。

国际论坛是世界微机械峰会的年会，每年由有来自美、日、德、法、意、俄、中等多个国家和地区的代表参加，在各成员国轮流举办，我国曾分别于2006年和2013年在北京和上海承办该会议。

国际论坛于2014年5月在巴西举办，由上海交通大学胡志宇教授带队参加;Micromachine Summit 2015国际论坛于2015年5月在德国柏林举办，清华大学朱荣教授带队参加;Micromachine Summit 2016将在日本举办，由上海微系统与信息技术研究所李昕欣研究员带队参加;Micromachine Summit 2017将由西北工业大学苑伟政带队参加，力争在西安承办2017年或者2018年国际论坛。

是第21届世界微机械峰会，2015年5月在德国柏林举办，共有来自美、日、德、法、意、俄、中等18个国家和地区的100余名代表参加，本次会议的主题是智能制造。大会首先由各个国家代表团团长介绍一年来各自国家在微机械研究方面的进展，然后分智能制造、工业应用等4个专题开展报告会和研讨。

中国代表团由来自清华大学朱荣教授、中北大学刘俊教授、西北工业大学常洪龙教授、中科院电子所王军波研究员和太原理工大学桑胜波副教授组成，朱荣教授作为领队，代表中国介绍我国在微纳器件及系统技术领域的最新进展和科研布局，常洪龙教授和王军波研究员介绍了相关的科研进展。

5.各理事单位对国家“十三五”规划的制定高度关注。

今年是国家“十三五”规划的制定年，各个领域和各个部门都在紧锣密鼓的进行“十三五”规划的研讨和制定。与会的各理事单位理事对此也表达了高度的关注，希望能在国家层面得到持续支持，继续开展微纳器件及系统技术的创新和产业化工作，以此推动我国的科技进步和社会发展。

另外，与会代表对分会主办的电子期刊工作表示了充分的肯定，认为该期刊内容水准高，很有特色，建议充分发挥理事的作用，邀请理事做期刊的轮值主席，对期刊内容进行综合评述。