它的工作原理是：[[氧化铝]]薄膜能从周围气体中吸水而引起本身[[电容]]和[[电阻值]]的变化，变化的幅度用以表示周围气体的相对湿度。这种湿度计主要用于[[工业]]流程气体的湿度测量，可测相对湿度范围很宽。