半導體芯片和製造·理論和工藝實用指南

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《半導體芯片和製造·理論和工藝實用指南》，[美] 廉亞光（Yaguang Lian） 著，出版社： 機械工業出版社。

機械工業出版社成立於1950年，是建國後國家設立的第一家科技出版社，前身為科學技術出版社，1952年更名為機械工業出版社。機械工業出版社（以下簡稱機工社）由機械工業信息研究院作為主辦單位，目前隸屬於國務院國資委。

目錄

內容簡介

《半導體芯片和製造——理論和工藝實用指南》是一本實用而優秀的關於半導體芯片理論、製造和工藝設計的書籍。《半導體芯片和製造——理論和工藝實用指南》對半導體製造工藝和所需設備的解釋是基於它們所遵守的基本的物理、化學和電路的規律來進行的，以便讀者無論到達世界哪個地方的潔淨室，都能儘快了解所使用的工藝和設備，並知道使用哪些設備、採用何種工藝來實現他們的設計和製造目標。《半導體芯片和製造——理論和工藝實用指南》理論結合實際，大部分的描述均圍繞着實際設備和工藝展開，並配有大量的設備圖、製造工藝示意圖和半導體芯片結構圖。《半導體芯片和製造——理論和工藝實用指南》主要包括如下主題：基本概念，例如等離子設備中的阻抗失配和理論，以及能帶和Clausius-Clapeyron方程；半導體器件和製造設備的基礎知識，包括直流和交流電路、電場、磁場、諧振腔以及器件和設備中使用的部件；晶體管和集成電路，包括雙極型晶體管、結型場效應晶體管和金屬?半導體場效應晶體管；芯片製造的主要工藝，包括光刻、金屬化、反應離子刻蝕（RIE）、等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）、熱氧化和注入等；工藝設計和解決問題的技巧，例如如何設計干法刻蝕配方，以及如何解決在博世工藝中出現的微米草問題。

《半導體芯片和製造——理論和工藝實用指南》概念清晰，資料豐富，內容實用，可作為微電子學與固體電子學、電子科學與技術、集成電路工程等專業的研究生和高年級本科生的教學參考書，也可供相關領域的工程技術人員參考。