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《半導體工程導論》，[美] 傑西·魯茲洛（Jerzy Ruzyllo） 著，出版社： 機械工業出版社。

機械工業出版社成立於1950年，是建國後國家設立的第一家科技出版社，前身為科學技術出版社，1952年更名為機械工業出版社。機械工業出版社（以下簡稱機工社）由機械工業信息研究院作為主辦單位，目前隸屬於國務院國資委。

內容簡介

《半導體工程導論》第1章概述了半導體區別於其他固體的基本物理特性，這些特性是理解半導體器件工作原理的必要條件。第2章回顧了半導體材料，包括無機、化合物、有機半導體材料。同時，第2章也介紹了有代表性的絕緣體和導體的材料，它們是構成可以工作的半導體器件和電路所必不可少的組成部分。而這些器件和電路是在第3章概述的。第4章是關於半導體工藝的基礎知識，並且用通俗的語言討論了半導體製造中使用的方法、設備、工具和介質。在概述了半導體工藝技術之後，第5章討論了主流半導體製造工藝中涉及的各單步工藝。第6章簡要概述了半導體材料和工藝表徵的基本原理。

《半導體工程導論》適合半導體工程及相關領域的學生、研究人員和專業人士閱讀。

作者介紹

Jerzy Ruzyllo是美國賓夕法尼亞州立大學電氣工程與計算機科學學院的傑出名譽教授。他在1977年獲得博士學位後於1984年加入賓夕法尼亞州立大學，並在波蘭華沙理工大學任教。在他的職業生涯中，Ruzyllo博士積極參與半導體科學與工程領域的研究和教學。Ruzyllo博士是美國電氣電子工程師學會 （IEEE）終身會士和美國電化學學會（ECS）會士。