檢視山东大学微电子材料与器件研究所的原始碼

[[File:山东大学微电子材料与器件研究所.jpeg|有框|右|<big></big>[https://www.logoids.com/upload/image/201711/15107981476561384.jpg 原图链接][https://www.logoids.com/icon/247IBEFBI8.html 来自 标志网 的图片]]]

'''山东大学微电子材料与器件研究所'''是在原物理学院光电材料与器件研究所基础上建立的。1989年在原[[物理系]]半导体研究室的基础上成立了光电材料与器件研究所，光电材料与器件研究所建所以来，连续承担了“八五”、“九五”国家重点科技攻关项目、国家军工配套项目，[[国家自然科学基金]]<ref>[https://www.163.com/dy/article/G0MKVFME0511DCTQ.html 重磅！2021国家自然科学基金项目指南发布]，网易，2021-01-19</ref>项目以及[[教育部]]和[[山东省]]各类科研项目；取得科技成果奖励20多项，其中“30&times;30cmITO透明导电膜”、“氧化物光电薄膜研究”、“电子工业替代ODS清洗剂及清洗技术研究”等为国家和省部级重要科技成果，建立起“国家电子元器件清洗技术研究推广中心”。

山东大学微电子材料与器件研究所经过“985”和“211”学科建设，微电子材料与器件研究所现有一流微细加工实验室，已具备材料生长、纳米器件工艺加工能力，2011年申请获批山东省微电子材料与器件省重点实验室。微电子材料与器件研究所科研主要设备包括：[[电子束曝光系统]]、紫外光刻机、MOCVD系统、PLD系统、[[电子束蒸发]]台、反应离子刻蚀、磁控溅射以及半导体材料与器件光电特性表征等设备。

山东大学微电子材料与器件研究所在强有力的硬件条件支撑下，微电子材料与器件研究所研究已融入微电子前沿主流的研究方向，研究内容包括：纳米电子和太赫兹器件、印刷电子、GaN电子器件和光电子器件、宽禁带半导体材料与器件、有机自旋半导体材料与器件、[[半导体存储器]]、薄膜太阳能电池等，本所的科学研究正朝着微电子主流研究方向大踏步迈进。

==简介==

研究方向：纳米电子和太赫兹器件、柔性薄膜电子器件、[[宽禁带半导体材料]]与器件、有机自旋半导体材料与器件、半导体存储器。

目前，承担国家自然科学基金项目11项，研究经费: 804万元；参与1项973项目和1项国家重大专项，承担多项省部级和横向课题研究项目；总研究经费超过1000万元。

每年发表SCI<ref>[https://www.sohu.com/a/209195314_100018922 学术期刊索引的SCI、SSCI、EI、ISTP、ISSHP……都是什么意思？ ]，搜狐，2017-12-07</ref>收录论文30多篇；[[授权]]多项发明专利。

==硬件条件==

（1）高端微细加工实验室

主要设备包括：电子束曝光，ICP干法刻蚀，电子束蒸发，紫外光刻机等。

（2）[[材料]]生长设备

高真空MOCVD设备，[[激光]][[脉冲]]沉积设备，磁控溅射设备，有机真空蒸发设备。

（3）测试表征设备

高频器件特性测试系统（太赫兹测试系统，安捷伦公司），低温霍尔测试系统，[[半导体]]参数分析仪（安捷伦公司），高分辨扫描电镜，宽带隙材料光学测试系统。

==视频==
===<center> 山东大学微电子材料与器件研究所 相关视频</center>===
<center>山东大学微电子学院+安全卫士小分队+安全意识天天有</center>
<center>{{#iDisplay:g0355mjzny7|560|390|qq}}</center>

<center>发光材料与器件国家重点实验室</center>
<center>{{#iDisplay:l3119hlvg5j|560|390|qq}}</center>

==参考文献==
[[Category:520 教育總論]]