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[[File:磁控溅射法.jpg|缩略图|[https://image.baidu.com/search/detail?ct=503316480&z=0&ipn=d&word=%E7%A3%81%E6%8E%A7%E6%BA%85%E5%B0%84%E6%B3%95&step_word=&hs=0&pn=11&spn=0&di=124300&pi=0&rn=1&tn=baiduimagedetail&is=0%2C0&istype=0&ie=utf-8&oe=utf-8&in=&cl=2&lm=-1&st=undefined&cs=2699040315%2C567326199&os=1808126470%2C917736192&simid=4149461872%2C614779503&adpicid=0&lpn=0&ln=1561&fr=&fmq=1621912361394_R&fm=&ic=undefined&s=undefined&hd=undefined&latest=undefined©right=undefined&se=&sme=&tab=0&width=undefined&height=undefined&face=undefined&ist=&jit=&cg=&bdtype=0&oriquery=&objurl=https%3A%2F%2Fgimg2.baidu.com%2Fimage_search%2Fsrc%3Dhttp%3A%2F%2Fimage.bitautoimg.com%2Fappimage-630-w0%2Fappimage%2Fmedia%2F20180724%2Fw553_h461_a42185ce42d14793adf1bb5165e9255d.jpeg%26refer%3Dhttp%3A%2F%2Fimage.bitautoimg.com%26app%3D2002%26size%3Df9999%2C10000%26q%3Da80%26n%3D0%26g%3D0n%26fmt%3Djpeg%3Fsec%3D1624504369%26t%3D346a8f9bc87269e89bec0d32d3048f45&fromurl=ippr_z2C%24qAzdH3FAzdH3Fgjof_z%26e3Bktpw7p5_z%26e3Bv54AzdH3Fiw5AzdH3Fojgziwg2AzdH3Fbmbndm&gsm=4&rpstart=0&rpnum=0&islist=&querylist=&force=undefined 原图链接][https://news.yiche.com/hao/wenzhang/868326 来自易车]]] '''磁控溅射法'''是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极([[镀膜室壁]]) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。
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