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[[File:压阻式压力传感器1.jpg|缩略图|压阻式压力传感器[https://www.fatritech.com/uploads/allimg/200913/1-2009131121320-L-50.jpg 原图链接][https://www.fatritech.com/uploads/allimg/200913/1-2009131121320-L-50.jpg 图片来源优酷网]]] 压阻式压力传感器是利用[[单晶硅]]的压阻效应而构成。采用[[单晶硅片]]为弹性元件,在单晶硅膜片上利用[[集成电路]]的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成[[桥路]],单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化,再由桥式电路获相应的电压输出信号。 '''中文名''':[[压阻式压力传感器]] '''外文名''':Piezoresistive pressure sensor '''又 称''':[[扩散硅压力传感器]] '''类 型''':压力式传感器的一种 '''核心部分''':N型的圆形硅膜片 '''应 用''':航天、航空、航海、石油化工
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压阻式压力传感器
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