檢視半导体制造工艺的原始碼

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| style="background: #FF2400" align= center|  '''<big>半导体制造工艺</big>'''
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《半导体制造工艺》是2015年8月7日机械工业出版社出版的图书，作者是张渊。

该书主要介绍了半导体器件基本结构 、半导体器件工艺的发展历史、半导体材料基本性质及半导体制造中使用的化学品，重点介绍了包括清洗、氧化、化学气相淀积、金属化、光刻、刻蚀、掺杂、平坦化几大集成电路制造工艺的工艺原理工艺过程，工艺设备、工艺参数、质量控制的相关内容[1]。