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{| class="wikitable" align="right" |- | style="background: #FF2400" align= center| '''<big>粘附</big>''' |- |<center><img src=https://p3.ssl.qhimgs1.com/sdr/400__/t01340d722c3091b2e3.jpg width="300"></center> <small>[http://spro.so.com/searchthrow/api/midpage/throw?ls=s112c46189d&lm_extend=ctype:3&ctype=3&q=%E7%B2%98%E9%99%84&rurl=https%3A%2F%2F3g.163.com%2Fnews%2Farticle%2FEI1ICJ5605119KL5.html&img=https%3A%2F%2Fnimg.ws.126.net%2F%3Furl%3Dhttp%253A%252F%252Fspider.ws.126.net%252F004caaf8d0eb8b7aa7db824c9e32dd5d.jpeg%26thumbnail%3D750x2147483647%26quality%3D85%26type%3Djpg&key=t01340d722c3091b2e3.jpg&s=1685777214681 来自 360娱乐网 的图片]</small> |} '''<big>粘附<big>'''固体表面[[剩余]]力场与其紧密[[接触]]的[[固体]]或[[液体]]的质点相互吸引发生粘附。粘附现象的本质和[[吸附]]一样,都是两种物质之间表面力作用的结果。 粘附作用可通过两固相相对[[滑动]]时的[[摩擦]]、固体粉末的[[聚集]]和烧结等现象[[表现]]出来。 ==基本信息== 中文名称 粘附 <ref>[https://hanyu.baidu.com/zici/s?query=%E7%B2%98%E9%99%84&srcid=28232&wd=%E7%B2%98%E9%99%84 粘附的意思|粘附是什么意思]</ref> 外文名称 adhesion 性质 科学 类别 物理 ==概念== 粘附是指以刻蚀法去除牺牲层时,微细的结构体附着于底板和其他结构体的现象。 在MEMS中,刻蚀去除牺牲层后,常会发生结构体附着的粘附现象。尤其是在湿法刻蚀中,水汽蒸发时表面张力引起弯月面(Meniscus)力作用,进而导致粘附,曾是一个很严重的问题。但采用基 于二氟化氙(XeF2)和氟化氢(HF)气体的干法刻蚀可解决该问题。 ==现象== 湿法蚀刻中可避免发生粘附现象的方法之一,是利用表面张力小的液体进行干燥。例如,使用表面张力为水的1/10左右的氟(Fluorinate)液体。但光凭这些还不够,还要采用升华的方法(冷冻干燥)。 ==案例== 将萘(Naphthalene)溶化后使之凝固并静置。这样,萘会渐渐升华,所以不会发生粘附即可干燥。最好的方法是在称为超临界干燥的液态二氧化碳中干燥。液态二氧化碳在7.38MPa压力、温度超过31℃时处于超临界状态。超[[临界]]状态,是指分子形成簇状零乱漂浮着的状态。由于表面张力不起作用,干燥时MEMS的微细结构不会发生粘附现象。 ==处理方法== 即使在干燥阶段不粘附,但如果表面含有羟基,会逐渐被水浸润并经另一侧的水发生粘附。即便是采用干法蚀刻制作的MEMS也会发生这种粘附现象。 ==预防== 为防止该现象,关键是要采用表面不形成羟基的防水处理。最近,名为SAM(Self-assembled Monolayer)的具有防水处理功能的干法蚀刻装置已经上市。 防止发生粘附的最好方法,是从结构上防止粘附--将其制成突起状。 ==參考來源== {{Reflist}} [[Category:揭密生活]]
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