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戴兴寺建于明正德十一年(1516)，原为延绥镇总兵戴钦家祠，后舍为佛寺。

历经明天启、清康熙、光绪、宣统年间整修、扩建始成全貌。天启七年，清康熙二十二年(1683)、光绪八年(1882)，均曾重修。

一九九三年开始，在各级党政有关部门领导的支持下，在住持释体证法师率领下，佛门四众，善男信女、各界人士鼎力相助，慷慨解囊，发心捐资总计五百余万元。对寺院多次进行维修，新建。

戴兴寺殿宇建筑因山就势，分三院，有殿宇共五十四间，整个寺庙占地三千六百平方米。

布局精巧，坐落有致，结构谨严，恬静幽雅，建筑多为砖木拱檐歇山式。古色古香，引人入胜。

有五佛大殿、大雄宝殿、观音殿、罗汉殿、孤魂殿、南北禅堂等明代建筑。其中五佛大殿为寺之主体建筑，其底层南北长16.4米，东西宽10.6米，全用巨砖砌成，枕通券洞穹窿顶，外接斗拱、檐木结构明廊;上层是砖木结构五揽大楼阁。顶复仰合青瓦，五脊六兽。大殿通高13.4米，殿内原供大小不等佛像数十尊，并有5尊铜铸巨型佛像，可惜已不存。

殿宇主要有五佛大殿、大雄宝殿、观音殿、罗汉殿、地藏殿、南北禅堂等明代建筑。供器、法器一应俱全。寺院藏经三千有余。存有明清时期匾额十余块，石刻两方。另有维修重修功德碑记等。

在榆林只要提起戴兴寺，人们就会自然地想起戴兴寺的镇寺之宝--弥勒大佛。大佛座东面西，塑于建寺之初距今已经500多年了。虽经几百年的沧桑却依然栩栩如生，是每天来这里的香客必须膜拜的地方。在文革期间，寺院几乎被毁的面目全非，是寺院里的僧人和居士听说有人要毁坏弥勒大佛像，他们用了一夜的时间在佛像前垒起一面墙，墙上写了个大大的"忠"字，第二天来的人一看没有了佛像，只有一面墙还有墙上的那个极有象征的字就离开了寺院。就这样历经几百年的大佛才得以保留下来。

该院南墙有弥足珍贵的砖雕壁画和联语，长约8米，惜被刀斧损毁。中小院东殿是念经堂，供释迦佛。殿前檐下有光绪、宣统年间住持僧行振所立"僧会司"巨匾及僧八名士悬挂的数方木匾。内有崇祯年间的"急周同道"、康熙年间的"德风远布"道光年间的"永锡祚胤"匾额。中小院北房是待客室，其顶部建"暮鼓"阁，南房是地区佛教协会，其顶部建"晨钟"阁。其后进入南小院"禅居"处，小院西墙边有三株"夫妻母子木瓜"树，可谓奇异。夫妻树由地表分为两株，高约9米，树龄约500年左右，妻树居中，粗可盈抱，夫树居南，稍细。妻树北1米处有一株高两米的幼树，僧人说是从中间这株母树的地下根所生蘖枝，犹如母子。 上院西边是坐东向西的五佛殿。五佛殿重檐回廊、五楹三十六柱砖木结构，殿内危坐圣坛的是以中央佛毗庐遮那佛为首的五方佛，法相庄严，金碧辉煌。南北墙用工笔彩绘40多幅佛像。五佛殿门上悬挂有清康熙年间榆林名书法家陈璋书写的"梵林公艺"、"仁让超厚"等匾额。戴兴寺这十多方明清碑石、木匾可谓珍贵文物。五佛殿北耳殿祀孔雀明王、眼光菩萨，南耳殿原塑有戴钦像，现主祀准提菩萨。站在五佛殿前凭栏西望，远处的黑山如水墨画，近处的楼宇房舍参差错落，引入神往，一时恍若出世，胸襟释然。

上院正殿坐东面西，硬歇山单檐式砖瓦结构，门悬"大雄宝殿"匾额，亦为赵朴初题写。殿内供一佛(释迦牟尼)二菩萨(文殊、普贤)，法相慈祥。"大雄宝殿"北偏殿主祀地藏菩萨，南偏殿主祀白衣观音。上院北殿供十殿阎君，南殿供十八罗汉。院中有内蒙古信士2001年敬献的两座高八、九米、下粗三米的"千佛铁塔"。塔上逐层铸有高约三寸小佛像，形象逼真、工艺精湛。