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劉鵬
北京大學集成電路學院

劉鵬,男,1981年出生,碩士。北京大學集成電路學院教授。

人物履歷

科研/教育經歷

2007年起,專業從事微電子加工工藝研究,主要研究方向是基於電子束光刻工藝的納尺度圖形化技術,和基於高密度等離子體干法刻蝕工藝的納尺度圖形轉移技術。

研究領域

微納結構製造技術

研究成果

開發大高寬比納米結構無硬掩膜製造技術,成功獲得AR>50的6.8nm單晶硅結構,向業界展示了硅基微電子工藝在小尺寸器件研究中的應用能力,為7nm節點下的新器件研究項目提供先導性技術支撐,獲IEEE MEMS 2015最佳論文提名;提出基於MEMS技術的電子散射控制方法和束斑調製技術,並基於這一成果提出高精度電子束束斑檢測方法,獲得國際專利授權;基於光刻膠雙重感光特性,提出適用於電子束光刻工藝的紫外固化技術,將顯影選擇比提高一個量級,成功實現三維納米形貌控制,拓展了電子束光刻工藝的應用範圍,獲得專利授權

科研項目

納米加工基礎工藝研究重點基金項目,基於電子束光刻的納機電系統結構工藝方法研究NSFC重大研究計劃等。同時,負責納米加工平台開放服務,為科研項目優化並加工驗證器件,典型特徵尺寸達到10nm量級。[1]

參考資料