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[[File:X射线光电子能谱学.jpeg|有框|右|<big>X射线光电子能谱学</big>[https://pic2.zhimg.com/80/v2-f3e273131eab31c1146ec785623f1d5c_720w.jpg 原图链接][https://zhuanlan.zhihu.com/p/28159851 来自 知乎 的图片]]]
'''X射线光电子能谱学'''（英文：X-ray photoelectron spectroscopy，简称XPS）是一种用于测定[[材料]]中元素构成、实验式，以及其中所含[[元素]]化学态和电子态的定量能谱技术。这种[[技术]]用X射线照射所要分析的材料，同时测量从材料表面以下1纳米到10纳米范围内逸出[[电子]]的[[动能]]和数量，从而得到X射线光电子能谱。X射线光电子能谱技术需要在超高真空环境下进行。