（2）检查冷却水系统。冷却水系统是指水换热并经降温，再循环使用的给水系统，主要由冷却设备、水泵和管道组成。在扫描电子显微镜中冷却水流过需要降温的设备有物镜、[[分子泵]]、[[电路板散热器件]]等。冷却水的恒温将大大增强设备的稳定性、可靠性和可重复性。所以日常维护过程中，首先要保证室内温度、湿度恒定在正常使用范围内，减少温度波动；再者需提高冷却水的质量。提高热交换效率及水循环系统的工作效率，需定期检查冷却水是否结垢或有絮状微生物生成。结垢的主要因素包括水质、温度、流速、表面状态等，根据扫描电子显微镜自身的特点，可控的因素一般需关注水质与pH 值两点。尽量使用去离子水，减少水中的离子浓度，减少化学腐蚀。需将冷却水的上盖密封，降低腐蚀率；控制水的pH 值降低微生物存活的几率，减少微生物腐蚀与电化学腐蚀 <ref>[陈莉, 徐军, 苏犁. 场发射环境扫描电镜上阴极荧光谱仪在锆石研究中的应用[J]. 电子显微学报, 2005, 24(4):334-334.]</ref> 。

==应用范围==