泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮（或空气）的压缩比为10⁸～10⁹；对氢 为102～104 为10²～10⁴ ；对分子量大的气体如油蒸气则大 于1010 于10¹⁰ 。

泵的极限压力为10^{-9Pa 9}Pa ，工作压力范围为10^-1 ～10^{-8Pa 8}Pa ，抽气速率为几十到几千升每秒（1L=10^{-3m3 3}m³ ）。

涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10^{-2Pa 2}Pa 的前级真空泵。