台湾光罩
台湾光罩股份有限公司(TAIWAN MASK CORP.,股票代码:2338)简称台湾光罩,初始为工研院电子所于1975年光罩成立部门。成立于1988年10月21日自工研院独立,总部位于台湾新竹市。1995年4月股票于台湾证券交易市场挂牌买卖[1]。
台湾光罩座落于台湾新竹市,为国内成立最早,规模最大的专业光罩厂,同时也是亚太地区最重要的光罩制造厂之一。以“符合规格、交期迅速”为品质及经营政策,台湾光罩提供符合客户规格,立即迅速之光罩,并获得ISO9001认证。承续44年光罩之研发及制造经验,台湾光罩与IC工业共同成长,一起建立实力坚强的完整产业体系。
目前已采用OPC及PSM技术大量生产0.18、0.15、0.11及0.09微米光罩,展现台湾光罩在IC工业中积极之企图心及责任感,共同与IC业者以更快的速度推进至更微细的境界[2]。
目录
经营方针
一、持续开发积体电路90奈米以下技术所需之光罩 为了配合积体电路公司十二吋晶圆生产90奈米以下之产品,本公司除发展更精进之技术外,本年度亦将适时扩充设备,以配合积体电路技术发展及量产所需。本年度将积极发展ArF光源的相位变换光罩及提供光学周边修衬技术,与下游业者合作开发深次微米制程用光罩,以提升制造技术。
二、大尺寸光罩及特殊光罩投资及开发 在液晶显示器市场上,随著新世代显示屏发展到第十代、十点五代,液晶玻璃越来越大,因此也很难用一片光罩来完成一层黄光制程,而是必须把图案分割成五到六片光罩,利用缝接(stitch)方式完成该层的黄光图形,这也提升了液晶显示屏光罩市场的需求及技术要求。此外,由于封装技术的进步,在晶圆上进行Gold Bump、RDL等制程加工,也都需要光罩来做图案移转。本公司计画深入大尺寸光罩及特殊光罩的市场,加强设备投资及技术开发,以因应此市场之光罩需求[3]。