半導體的檢測與分析

來自 孔夫子網 的圖片

《半導體的檢測與分析》，許振嘉 編，出版社： 科學出版社。

科學出版社是中國最大的綜合性科技出版機構，由前中國科學院編譯局與1930年代創建的有較大影響的龍門聯合書局合併而來。科學出版社比鄰皇城根遺址公園，是一個歷史悠久、力量雄厚，以出版學術書刊為主的開放式出版社。

目錄

內容簡介

本書的內容與1984年第1版的內容完全不同。本書介紹補充了這二十年來半導體科研、生產中常用的各種檢測、分析方法和原理。全書共分7章，包括引論，半導體的高分辨X射線衍射，光學檢測與分析，表面、薄膜成分分析，掃描探針顯微學在半導體中的運用，透射電子顯微學及其在半導體中的應用和半導體深中心的表徵。書中根據實踐列舉了一些實例，同時附有大量參考文獻和常用的數據，以便讀者進一步參考和應用。 　　 本書可供從事半導體科研和生產的科研人員，大專院校老師和研究生使用。

目錄

前言

第1章 引論

1.1 科學內容

1.2 實驗技術

1.3 展望

參考文獻

第2章 半導體晶體的高分辨X射線衍射

2.1 引言

2.2 半導體晶體結構與結構缺陷

2.3 X射線平面波的衍射

2.4 高分辨X射線衍射的限束

2.5 異質外延多層膜的X射線雙晶衍射

2.6 三軸衍射

2.7 晶格參數的精確測量

2.8 鑲嵌結構的測量

2.9 鏡面反射與面內掠入射

參考文獻

附錄

第3章 光學性質檢測分析

3.1 引言

3.2 半導體光致發光

3.3 半導體的陰極熒光

3.4 吸引光譜及其相關的薄膜光譜測量方法

3.5 拉曼散射

參考文獻

第4章 表面和薄膜成分分析

4.1 引言

4.2 俄歇電子能譜

4.3 X射線光電子譜

4.4 二次離子質譜

4.5 盧瑟福背散射

參考文獻

附錄

第5章 掃描探針顯微學在半導體中的運用

5.1 引言

5.2 掃描隧道顯微鏡的基本原理

5.3 用STM分析表面結構

5.4 掃描隧道譜

5.5 彈道電子發射顯微鏡

5.6 原子力顯微鏡

5.7 原子力顯微鏡用於表面分析

5.8 掃描電容顯微鏡

5.9 靜電力顯微鏡

5.10 磁力顯微鏡

5.11 掃描近場光學顯微鏡

5.12 原子操縱與納米加工

參考文獻

第6章 透射電子顯微學及其在半導體研究

6.1 引言

6.2 透射電子顯微鏡的基本構造及工作原理

6.3 顯微像襯度

6.4 其他技術

6.5 應用實例

6.6 結語

參考文獻

附錄

第7章 半導體深中心的表徵

7.1 深能級瞬態譜技術

參考文獻

7.2 熱激電流

參考文獻