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[[File:离子注入1.jpg|缩略图|离子注入[https://image2.slideserve.com/4203313/slide7-l.jpg 原图链接][https://image2.slideserve.com/4203313/slide7-l.jpg 图片来源优酷网]]] 离子注入是指当真空中有一束离子束射向一块固体材料时,离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面,这个现象叫做[[溅射]];而当离子束射到固体材料时,从固体材料表面弹了回来,或者穿出固体材料而去,这些现象叫做[[散射]];另外有一种现象是,离子束射到固体材料以后,受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来,并最终停留在固体材料中的这一现象叫作离子注入。 '''中文名''':[[离子注入]] '''外文名''':Ion implantation '''性 质''':高新技术主要现象溅射、散射
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