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{| class="wikitable" align="right" |- | style="background: #008080" align= center| '''<big>扩散炉</big> ''' |- | [[File:35a85edf8db1cb1388e0d432dc54564e92584b02.jpg|缩略图|居中|[https://bkimg.cdn.bcebos.com/pic/35a85edf8db1cb1388e0d432dc54564e92584b02?x-bce-process=image/resize,m_lfit,w_268,limit_1/format,f_jpg 原图链接][https://baike.baidu.com/item/%E6%89%A9%E6%95%A3%E7%82%89 来自搜狗的图片]]] |- | style="background: #008080" align= center| |- | align= light| |} '''扩散炉'''是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
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